[实用新型]夹具组件及具有该夹具组件的贴膜机

说明书

技术领域

本实用新型属于贴膜机配件领域，尤其涉及一种夹具组件及具有该夹具组件的贴膜机。

背景技术

贴膜机用于蒙版(Pellicle)贴付在掩膜版(Mask)上，现有技术仅能够满足第3.5代至第6代的掩膜版贴付蒙版的制作。根据国内外TFT(薄膜场效应晶体管)行业发展趋势，各地均开始建立第8代的TFT液晶面板生产线。TFT液晶面板的代数越高，掩膜版尺寸越大。现有贴膜机无法满足第8代的大尺寸掩膜版贴付蒙版的需求。现有技术需要多套掩膜版定位机构来满足贴膜要求，即每一种尺寸规格的掩膜版需要有一套与之匹配的掩膜版定位机构，且每次贴膜时都需要人工根据掩膜版尺寸来更换掩膜版定位机构。该方案操作麻烦，经济成本较高。还有，现有的蒙版夹具与掩膜版定位机构采用相互叠设结构安装在设备上，在厚度方向上占用较大空间。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种夹具组件，旨在解决现有贴膜机中的掩膜版定位机构难以适应不同尺寸规格的掩膜版及现有蒙版夹具与掩膜版定位机构占用较大空间的技术问题。

本实用新型是这样实现的，一种夹具组件，用于安装蒙版与掩膜版，所述夹具组件包括平台、用于安装所述蒙版的蒙版夹具及用于安装所述掩膜版的掩膜版定位机构；所述蒙版夹具包括安装在所述平台上的基板及安装在所述基板 上且用于夹紧所述蒙版的夹紧组件，所述掩膜版定位机构包括框架、沿X轴方向滑动安装在所述框架上的两个竖直臂及沿Z轴方向滑动安装在所述框架上的两个水平臂，所述框架具有一缺口且所述平台沿Y轴方向滑动安装在该缺口内，两个所述竖直臂相面对设置且两个所述水平臂相面对设置，两个所述竖直臂与两个所述水平臂共同夹紧所述掩膜版，安装在所述蒙版夹具上的所述蒙版与安装在所述掩膜版定位机构上的所述掩膜版相面对设置，所述X轴方向、所述Y轴方向与所述Z轴方向两两垂直。

进一步地，所述蒙版夹具的所述基板上开设有定位孔，所述夹具组件还包括安装在所述平台上且能沿Y轴方向输出直线运动的第一驱动件及由所述第一驱动件驱动的定位销，所述定位销穿设在所述定位孔中。

进一步地，所述蒙版夹具的所述基板上开设有盲孔，所述盲孔中设置有夹紧法兰且该夹紧法兰上开设有型孔，所述夹具组件还包括绕Y轴输出旋转运动且具有一输出端的第二驱动件、由所述第二驱动件驱动转动的卡接件及用于驱动所述第二驱动件沿Y轴方向移动的第三驱动件，所述卡接件包括卡接头及垂直设置在该卡接头上的转动轴，所述卡接头的横截面形状与所述型孔的横截面形状相同，该卡接件的所述转动轴与所述第二驱动件的所述输出端相连接，该卡接件的所述卡接头穿过所述夹紧法兰的所述型孔并伸入所述基板的所述盲孔后绕Y轴转动以使所述蒙版夹具固紧在所述平台上。

进一步地，所述夹紧组件包括安装在所述基板上的第四驱动件，所述第四驱动件具有沿X轴方向输出相反或者相对直线运动的两个输出端，所述夹紧组件还包括分别由所述第四驱动件的两个所述输出端一一对应驱动沿X轴方向移动的两个拨杆、一一对应由所述拨杆顶抵沿X轴方向移动且沿X轴方向延伸的两个导杆及设置在每一所述导杆的自由端上的卡爪，所述第四驱动件的两个所述输出端分别驱动两个所述拨杆顶抵对应的所述导杆以使两个所述卡爪张开，所述夹紧组件还包括设置在每一所述导杆上且用于在两个所述卡爪张开后使该卡爪复位以夹紧所述蒙版的弹性件。

进一步地，所述夹紧组件包括安装在所述基板上的第四驱动件，所述第四驱动件具有沿Y轴方向输出相反或者相对直线运动的两个输出端，所述夹紧组件还包括分别由所述第四驱动件的两个所述输出端一一对应驱动沿Y轴方向移动的两个拨杆、一一对应由所述拨杆顶抵沿Y轴方向移动且沿Y轴方向延伸的两个导杆及设置在每一所述导杆的自由端上的卡爪，所述第四驱动件的两个所述输出端分别驱动两个所述拨杆顶抵对应的所述导杆以使两个所述卡爪张开，所述夹紧组件还包括设置在每一所述导杆上且用于在两个所述卡爪张开后使该卡爪复位以夹紧所述蒙版的弹性件。

进一步地，所述掩膜版定位机构包括安装在所述框架的背离所述蒙版夹具的一侧上且用于驱动所述竖直臂沿X轴方向移动的第五驱动组件及安装在所述框架的背离所述蒙版夹具的一侧上且用于驱动所述水平臂沿Y轴方向移动的第六驱动组件。

进一步地，二个所述第五驱动组件分别分布在所述框架的上下两侧且该二个第五驱动组件共同驱动一个所述竖直臂，二个所述第六驱动组件分别分布在所述框架的左右两侧且该二个第六驱动组件共同驱动一个所述水平臂。