[实用新型]一种计量型微纳台阶高度测量装置

权利要求书

1.一种计量型微纳台阶高度测量装置，包括支撑系统(1)以及安装在支撑系统上的白光显微测头(2)、位移扫描系统(3)和计量系统(4)，其特征在于，支撑系统包括底板(11)以及固接在底板上的“[”形立柱(12)；

白光显微测头包括光源模块(22)、照明模块(23)、CCD模块(24)、管镜模块(25)以及干涉物镜模块(26)，光源模块与照明模块通过第一光纤(27)连接，CCD模块与管镜模块以及干涉物镜模块与照明模块之间均通过螺纹连接，管镜模块与照明模块之间通过卡口卡接；

位移扫描系统包括安装在“[”形立柱内壁的升降台(31)、固接在升降台侧壁的升降载板(32)以及安装在升降载板上的纳米位移台(33)和可调倾斜载物台(34)，可调倾斜载物台固接在纳米位移台上方，升降载板通过直线轴承结构(35)与“[”形立柱滑动连接；

计量系统包括固接在升降载板底部的激光干涉仪，参考反射镜(42)以及测量反射镜(43)，其中激光干涉仪包括干涉头(41)和激光光源(422)，干涉头通过第二光纤(421)与激光光源相连接；干涉头上开设有测量光束进出口(411)和参考光束进出口(412)，参考反射镜固接在干涉头表面且垂直于参考光束；位移扫描系统底端固接有倾斜调节结构(37)，测量反射镜固接在倾斜调节结构底端面上且垂直于测量光束。

2.根据权利要求1所述的计量型微纳台阶高度测量装置，其特征在于，底板与“[”形立柱之间安装有弧面座(13)。

3.根据权利要求2所述的计量型微纳台阶高度测量装置，其特征在于，“[”形立柱的左右两侧以及背面均安装有走线盒(121)，走线盒上开设有供第一光纤通过的钣金线槽(122)。

4.根据权利要求1所述的计量型微纳台阶高度测量装置，其特征在于，升降载板上设置有上肋板(321)和下肋板(322)，且升降载板为一体成型结构。

5.根据权利要求1所述的计量型微纳台阶高度测量装置，其特征在于，可调倾斜载物台与纳米位移台之间安装有转接板(38)；纳米位移台中部开设有通孔，倾斜调节结构由螺栓固定到转接板底端并通过纳米位移台的通孔。

6.根据权利要求1所述的计量型微纳台阶高度测量装置，其特征在于，倾斜调节结构采用柔性铰链结构。

7.根据权利要求1所述的计量型微纳台阶高度测量装置，其特征在于，纳米位移台与升降台的扫描方向与光轴平行，并且纳米位移台和升降台均竖直放置/水平放置。

8.根据权利要求1所述的计量型微纳台阶高度测量装置，其特征在于，直线轴承结构包括两组结构相同的滑动组件，每组滑动组件均包括导轴座(351)以及固接在导轴座顶端的导轴(352)，导轴底端通过两个配套的半圆锁紧件(353)与导轴座固定连接，顶端向上延伸至伸出升降载板并穿过固接在升降载板上方的轴承(354)。