[实用新型]一种气体质量流量计的标定装置

说明书

技术领域

本实用新型属于流量计检测技术领域，具体涉及一种气体质量流量计的标定装置。

背景技术

在化工和电子制造企业中，一些具有特殊物化性质的气体常作为催化剂或者半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂，这些气体流量的大小直接影响催化或则离子注入和掺杂效果，但由于某些气体自身物化特性，遇到水或其他杂质，会发生化学反应，其产物会严重堵塞、腐蚀管道及流量计等设备，然而在现实生产工作中，这些气体又不可避免的会与空气接触，导致测量其流量的气体质量流量计测量不准。传统的处理办法一般采取返厂标定或者自购一套标定装置，不利的因素在于维修周期长，费用高。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术的不足而提供一种气体质量流量计的标定装置，该装置结构简单、满足部分特殊物化特性的气体对流量计校验较严格要求。

为了达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

本实用新型提供一种气体质量流量计的标定装置，其特征在于：包括高纯氮气源、高压调节阀、流量控制仪器、标准流量计及被校流量计接入端；所述高纯氮气源的气体通过管路与被校流量计接入端I相连，在高纯氮气源与被校流量计接入端I之间的管路上依次设有高压调节阀、进气阀门和进气压力表；被校流量计接入端II通过管道与标准流量计相连，标准流量计上设有排气管；所述被校流量计的接入端III连接有流量控制仪。

所述进气压力表通过球形阀门与管路相连。

所述标准流量计为标准型湿式流量计，精度为0.05级。

所述管路为不锈钢管，不锈钢管耐压范围均为0～60MPa；所述高压调节阀的耐压范围为0～60MPa。

所述高纯氮气源的纯度至少为99.999%。

与现有技术相比，本实用新型取得的有益效果：

1. 本实用新型结构中采用了高纯氮气源，由于其纯度高、不含杂质、不残留，避免由于三氟化硼的物化特性，遇到水或其他杂质，会发生化学反应，其产物会严重堵塞、腐蚀管道及流量计的问题。

2. 本实用新型采用高压调压阀，实现气源供气端调压、保压目的，特别在微量气压调节时，具备很强的操作性。

3. 本实用新型装置中被校流量计连接流量控制仪，可以方便实现在线监控流量的目的。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

具体实施方式

    下面结合附图对本实用新型进一步说明：

参照图1所示，一种气体质量流量计的标定装置，包括高纯氮气源1、高压调节阀2、流量控制仪器3、标准型湿式流量计4及被校流量计5接入端；所述高纯氮气源1的气体通过管路与被校流量计接入端I相连，在高纯氮气源1与被校流量计接入端I之间的管路上依次设有高压调节阀2、进气阀门6和进气压力表7，进气压力表7通过球形阀门9与管路相连；被校流量计接入端II通过管道与标准型湿式流量计4相连，标准型湿式流量计4上设有排气管8；所述被校流量计接入端III连接有流量控制仪3。

本实用新型装置工作过程：

1、根据标准型湿式流量的使用要求，做好标点前准备工作；

2、打开高压氮气截止阀，使用高压调节阀氮气压力调节为0.5Mpa,打开进气阀门6和球形阀门9，观察进气阀门6与被校流量计接入端5接入的被校流量计之间的进气压力表示值是否为0.5Mpa,同时观察标准型湿式流量4计指针是否转动；

3、通过流量控制仪3对被校流量计接入端5接入的被校流量计分别给定100g/h、200 g/h、300 g/h、400 g/h、500 g/h流量信号值；

4、在流量控制仪3对被校流量计接入端5接入的被校流量计给定某一流量信号值时，用秒表测出标准湿式流量计4每过10L氮气所用的时间。通过以下公式可换算出此表定点下目标气体的瞬时流量：

M=10/t*3600*ρ*k

M:目标气体瞬时质量流量

t:标准湿式流量计每过10L氮气所用时间

ρ：目标气体密度

 k：气体转换系数

    5、将换算出的目标气体瞬时质量流量与流量控制仪3所监测的被校流量计接入端5接入的被校流量计的测量值进行对比，计算出两者之间的误差，若误差小于5%时，被校验流量计合格。