[发明专利]一种线缆支撑机构及线缆台

说明书

本发明公开了一种线缆支撑机构及线缆台，该线缆支撑机构包括多层排线和/或多层排管，线缆支撑机构包括支撑线夹、第一连杆、第二连杆和可调式连接件，U形线缆穿过支撑线夹，且支撑线夹夹紧U形线缆中最内一层排线或排管，第一连杆的两端分别连接支撑线夹和所述第二连杆的一端，所述第二连杆的另一端与可调式连接件活动连接。本发明通过支撑线夹对最内一层排线或排管进行夹紧，有效防止U型线缆下垂，避免与基础框架或其他部件发生碰撞摩擦；通过调整支撑线夹与U型线缆的位置进一步优化支撑效果，使U型线缆下垂量最小，此外通过可调式连接件调节第二连杆的位置，保证支撑线夹随U型线缆进行运动的过程中更平稳，降低对工件台的影响。

技术领域

本发明涉及光刻装置，具体设计一种线缆支撑机构及线缆台。

背景技术

随着大规模集成电路器件集成度的不断提高以及光刻分辨力的不断增强，对光刻机的特征线宽的要求也在不断提升，因此，对工件台的速度、加速度以及精度的要求也不断提高。

工件台的运行需要配备电机驱动系统、气浮导向系统、传感器检测系统等，需要大量的信号线、功率线、气管、水管等实现对其供电、供气、冷却、控制等功能。在工件台运动的过程中，这些电缆、管路会跟随工件台作同步往复运动，当工件台的定位精度要求比较高时，这些电缆、管路在随工件台一起运动时对工件台产生的拉力就不可忽略，为了提高工件台的定位精度，通常采用线缆台来补偿管线设施对工件台产生的拉力，消除或者大幅减小管线设施对工件台运动的影响。

图1所示为一种磁浮工件台的结构示意图，包括基础框架101、工件台粗动模块102、平台103和磁浮式线缆台104，六自由度磁浮式工件台粗动模块102在平台103上自由运动，此时磁浮式线缆台104与所述工件台粗动模块102同步运动。U形线缆105通过磁浮式线缆台104将传感器、磁浮电机、真空、正压以及水路等各种管线连接到工件台粗动模块102，其一端通过第一线夹105b固定在基础框架101上，另一端通过第二线夹105a固定在磁浮式线缆台104上与其一起运动。U形线缆105一般由几十根线缆和水路组成，重量大，当随磁浮线缆台104作大行程移动时，U形线缆105悬空距离变长，势必引起下垂， 尤其是图1所示的U形线缆105的折弯平面与重力方向垂直的情况下垂更明显，由于底部的基础框架101空间紧凑，下垂的线缆在运动过程中容易与基础框架101或其他部件发生剐蹭，从而导致线缆损坏并且对工件台运动系统产生干扰力，影响磁浮线缆台104与工件台粗动模块102的同步运动精度。因此，需要针对U形线缆105设置支撑结构以防止线缆下垂，并且降低线缆在高速运动下对工件台的扰动力。

针对以上问题，现有技术中提供了一种支撑机构，将排线和排管分成两层，利用两个固定件分别对其进行夹紧，并通过三根连杆和一滑块随着线缆一起转动从而起到支撑线缆以及提高线缆台的定位精度和安全性作用。然而该方案存在一定的局限性，首先当线缆过多时，将排线和排管分成两层进行夹紧时可能会使每层尺寸太宽而增大线缆垂向需求空间，容易导致线缆与基础框架碰撞摩擦；其次，线缆的夹紧位置无法调整，在实际的线缆支撑中，由于重心位置很难事先确定，若夹紧位置不准确且无法调整时，会影响对线缆的支撑效果，且无法适应多种不同行程的线缆；再次，在实际运动过程中可能出现由于连杆的长度设计不合理容易与线缆发生卡死，从而影响了线缆台的运动。

发明内容

本发明提供一种线缆支撑机构及线缆台，以解决以上问题。

为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种线缆支撑机构，用以支撑U形线缆的重力，所述U形线缆包括多层排线和/或多层排管，所述线缆支撑机构包括支撑线夹、第一连杆、第二连杆和可调式连接件，所述U形线缆穿过所述支撑线夹，且所述支撑线夹夹紧所述U形线缆中最内一层排线或排管，所述第一连杆的两端分别连接所述支撑线夹和所述第二连杆的一端，所述第二连杆的另一端与所述可调式连接件活动连接。

进一步的，所述第一连杆和所述第二连杆均包括两根长度相同的连接支杆，所述两根连接支杆平行设置。