[发明专利]一种偏振光照明系统及偏振光照明调制方法在审

专利信息
申请号: 201511031853.2 申请日: 2015-12-31
公开(公告)号: CN106932966A 公开(公告)日: 2017-07-07
发明(设计)人: 景磊;陈宇环 申请(专利权)人: 上海微电子装备有限公司
主分类号: G02F1/1337 分类号: G02F1/1337;G02B27/28;G02B5/30
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 代理人: 屈蘅,李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 偏振光 照明 系统 调制 方法
【权利要求书】:

1.一种偏振光照明系统,其特征在于,包括微波无极灯、二次曲面反射罩壳、偏振光转换器件以及线栅起偏组件,所述微波无极灯位于所述二次曲面反射罩壳的焦点处,所述偏振光转换器件以及线栅起偏组件依次位于所述微波无极灯的正下方。

2.如权利要求1所述的偏振光照明系统,其特征在于,所述微波无极灯与所述线栅起偏组件之间还依次设有石英窗口保护玻璃和滤波片,所述偏振光转换器件设于所述微波无极灯与所述石英窗口保护玻璃之间,或者设于所述石英窗口保护玻璃与所述滤波片之间,或者设于所述滤波片与所述线栅起偏组件之间。

3.如权利要求1或2所述的偏振光照明系统,其特征在于,所述偏振光转换器件采用四分之一波片、二分之一波片或者消偏振组件。

4.如权利要求1所述的偏振光照明系统,其特征在于,所述微波无极灯由多根光管沿横向和纵向拼接而成。

5.如权利要求4所述的偏振光照明系统,其特征在于,每根所述光管的出光功率可调。

6.如权利要求4所述的偏振光照明系统,其特征在于,每根所述光管的位置在沿横向的方向上可调。

7.一种偏振光照明调制方法,其特征在于,包括如下步骤:

步骤1、设置微波无极灯于二次曲面反射罩壳的焦点处,用于发射照明光束并通过所述二次曲面反射罩壳反射,形成反射光束;

步骤2、设置偏振光转换器件,对所述反射光束进行起偏调制,形成S偏振光和P偏振光;

步骤3、设置线栅起偏组件,使上述P偏振光通过,上述S偏振光反射;

步骤4、所述S偏振光反射后经过上述偏振光转换器件,通过所述二次曲面反射罩壳反射,通过所述偏振光转换器件作用后,部分地转换为P偏振光透过所述线栅起偏组件。

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