[发明专利]一种DLP曝光能量均匀化的方法在审
| 申请号: | 201511024994.1 | 申请日: | 2015-12-30 |
| 公开(公告)号: | CN105425546A | 公开(公告)日: | 2016-03-23 |
| 发明(设计)人: | 祁杨停;袁剑;李喜露;宋战波;陈小强;齐志宏;高云峰 | 申请(专利权)人: | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 深圳市道臻知识产权代理有限公司 44360 | 代理人: | 陈琳 |
| 地址: | 518000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 dlp 曝光 能量 均匀 方法 | ||
1.一种DLP曝光能量均匀化的方法,其特征在于,包括如下步骤:
第一步:数据采样:曝光能量校正图片,利用光能量测定设备测量图片采样上的采样点的光能量值;
第二步:数据处理:对采样点能量值进行曲面拟合处理,并统计图片各个像素点对应的曝光能量;
第三步:曝光切换图片获取:根据各像素能量值及间隔时间t,生成曝光切片图片集合VIMG;
第四步:图片曝光操作:根据曝光能量与时间的线性关系,调整各像素点曝光时间的长短。
2.根据权利要求1所述的DLP曝光能量均匀化的方法,其特征在于,所述第一步包括如下步骤:
步骤A1:创建曝光能量校正图片,设置该图片上的采样点,并通过DLP快速成型系统曝光该图片;
步骤A2:测量能量校正图片上的采样点的能量,并记录相应的能量数值。
3.根据权利要求1所述的DLP曝光能量均匀化的方法,其特征在于,所述第二步包括如下步骤:
步骤B1:以采样点像素值及其能量值为基础,在对应曝光范围内拟合自由曲面;
步骤B2:记录自由曲面上每个像素点对应的曝光能量数值并按照能量数值从小到大排序;记录最小能量数值Vmin和最大能量数值Vmax,Vmax/Vmin=C;所有像素点对应的能量保存为能量集合VE。
4.根据权利要求1或3所述的DLP曝光能量均匀化的方法,其特征在于,所述自由曲面是在对应曝光范围内基于最小二乘法拟合而成的。
5.根据权利要求1所述的DLP曝光能量均匀化的方法,其特征在于,所述第三步包括如下步骤:
步骤C1:设曝光区域内曝光最小能量处所需曝光时间为Tmax,曝光最大能量处所需曝光时间即最短曝光时间为Tmin,Tmin=Tmax/C;
步骤C2:计算当前图片的曝光时间T,对应的能量上下限Vup、Vdowm;
步骤C3:查找VE中能量在Vdown和Vup间的像素点,将其灰度值设置为0,并存入下一次的初始图片集合IMG;
步骤C4:从时间Tmin开始,每隔时间t,进行上述操作,获得一张切换图片,存入曝光图片集合VIMG,直到曝光时间T>(Tmax-t)为止。
6.根据权利要求5所述的DLP曝光能量均匀化的方法,其特征在于:所述步骤C2的具体内容为:设初始曝光图片为IMG,当前图片切换次数编号为n(n=1,2,3,……),设定相邻两个图片切换的间隔时间为t,则当前图片的曝光时间为T,T=Tmin+n*t;统计在当前时间间隔t内需进行灰度变化的像素能量,其中,最大像素能量为Vup,最小像素能量为Vdown,Vup=Vmin*Tmax/T,Vdomn=Vmin*Tmax/(T-t)。
7.根据权利要求4所述的DLP曝光能量均匀化的方法,其特征在于:所述第四步包括如下步骤:
步骤D1:操作DLP快速成型系统对图片进行曝光:曝光开始时,先曝光原图片,时间为Tmin;
步骤D2:t时间到后,从集合VIMG中取出第二张图片作为当前曝光图片,曝光时间也为t;……,循环曝光,直到总曝光时间达到Tmax或大于Tmax-t;
步骤D3:如果曝光时间达到Tmax,该层曝光结束;如果未达到时间Tmax,则继续步骤D2的循环曝光。
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