[发明专利]化学机械抛光装置及方法有效
| 申请号： | 201511023760.5 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN106466807B | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 金钟千;金旻成;任桦爀;金志郁 | 申请（专利权）人： | 凯斯科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/32;B24B37/013;B24B49/02;B24B49/10 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
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