[发明专利]一种改良西门子法多晶硅还原炉用石墨夹头及其使用方法

权利要求书

1.一种改良西门子法多晶硅还原炉用石墨夹头，其特征在于该石墨夹头包括圆台部分(4)、环形凹槽(5)、圆柱部分(6)和凸缘(7)，圆台部分(4)在环形凹槽(5)上方，圆柱部分(6)在环形凹槽(5)下方，凸缘(7)在圆柱部分(6)下部的外圆周上；圆台部分(4)和圆柱部分(6)中心为连通孔，由上至下依次为倒圆台孔(1)、第一圆柱孔(2)、和第二圆柱孔(3)；倒圆台孔(1)，第一圆柱孔(2)、和第二圆柱孔(3)的中心在同一轴线上；所述的倒圆台孔(1)上底面直径小于圆台部分(4)上底面直径；第一圆柱孔(2)直径与倒圆台孔(1)下底面直径相同，第二圆柱孔(3)直径大于第一圆柱孔(2)直径。

2.根据权利要求1所述的一种改良西门子法多晶硅还原炉用石墨夹头，其特征在于所述的第二圆柱孔(3)的侧面为光滑或带有内螺纹。

3.一种如权利要求1所述改良西门子法多晶硅还原炉用石墨夹头的使用方法，其特征在于该方法按照如下步骤进行：

一、处理硅芯

将硅芯下端加工成与倒圆台孔(1)相同锥度的倒圆台；所述的加工后的硅芯的倒圆台的上底面直径大于倒圆台孔(1)的上底面直径；

二、组装

将步骤一中加工后的硅芯的倒圆台一端插入到石墨夹头的倒圆台孔(1)中，并将组装后的石墨夹头固定在多晶硅还原炉底盘上并插入电极。

4.根据权利要求3所述的一种改良西门子法多晶硅还原炉用石墨夹头的使用方法，其特征在于步骤一所述的硅芯为圆硅芯或方硅芯。