[发明专利]一种新型石英坩埚钡液喷涂系统

权利要求书

1.一种新型石英坩埚钡液喷涂系统，其特征在于包括喷头旋转气缸、喷头升降电机、喷头、旋转电机、坩埚升降电机、坩埚抱爪、坩埚平移电机、支架、移动轨道、坩埚承接架、外壳、观察视窗，所述支架上侧安装有移动轨道，所述移动轨道和坩埚平移电机连接和坩埚升降电机，所述坩埚升降电机和坩埚抱爪连接，所述坩埚抱爪上侧设有喷头，所述喷头和喷头升降电机连接，所述喷头升降电机上侧安装有喷头旋转气缸，所述坩埚抱爪后侧的支架上安装有坩埚承接架，所述坩埚承接架下侧安装有旋转电机，所述支架外侧包裹有外壳，所述外壳上开设有观察视窗。

2.按照权利要求1所述的一种新型石英坩埚钡液喷涂系统，其特征在于所述坩埚平移电机、坩埚升降电机、坩埚抱爪组成翻转系统。

3.按照权利要求1所述的一种新型石英坩埚钡液喷涂系统，其特征在于所述喷头为雾化喷头。

4.按照权利要求1所述的一种新型石英坩埚钡液喷涂系统，其特征在于所述坩埚升降电机为垂直移动石英坩埚。