[发明专利]一种测量精度高的影像测量仪在审
| 申请号： | 201511004891.9 | 申请日： | 2015-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN105651163A | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 王德新 | 申请（专利权）人： | 威申精密仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 上海宣宜专利代理事务所(普通合伙) 31288 | 代理人： | 杨小双 |
| 地址： | 200233 上海市闵行区浦江镇漕*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测量 精度 影像 测量仪 | ||
【权利要求书】：
1.一种测量精度高的影像测量仪，其特征在于，包括CCD传感器(1)、玻 璃平台(2)和导轨行程支撑台(3)，还包括气浮轴承(4)，所述玻璃平台(2) 的中间部位上方放置有待测工件(5)，所述CCD传感器(1)安装在待测工件 (5)的上方，所述玻璃平台(2)通过四角的支撑脚(6)放置在导轨行程支撑 台(3)的上方，所述气浮轴承(4)安装在玻璃平台(2)中间部位下方的导轨 行程支撑台(3)上。
2.根据权利要求1所述的测量精度高的影像测量仪，其特征在于，所述气浮 轴承(4)与玻璃平台(2)之间的距离为3-8μm。
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