[发明专利]静电换能器可靠性试验方法和系统

权利要求书

1.一种静电换能器可靠性试验方法，其特征在于，包括以下步骤：

对静电换能器的输入电极和偏置电极施加偏置电压，并经预设的分压电阻对所述静电换能器的输入电极和输出电极施加直流电压，所述偏置电压小于所述静电换能器的下拉电压；

根据预设的冲击量级对所述静电换能器施加冲击载荷，进行机械冲击；

在机械冲击过程中监测所述分压电阻两端的电压；

调节所述偏置电压的幅值，并在所述分压电阻两端的电压大于预设电压阈值时，测量得到当前冲击量级下所述静电换能器产生误触发的最小偏置电压并输出。

2.根据权利要求1所述的静电换能器可靠性试验方法，其特征在于，所述调节所述偏置电压的幅值，并在所述分压电阻两端的电压大于预设电压阈值时，测量得到当前冲击量级下所述静电换能器产生误触发的最小偏置电压并输出的步骤，包括以下步骤：

检测机械冲击过程中是否出现所述分压电阻两端的电压大于预设电压阈值；

若是，则以预设幅度减小所述偏置电压的幅值并继续机械冲击，将检测到所述分压电阻两端的电压大于所述预设电压阈值时所述偏置电压的幅值作为所述最小偏置电压并输出；

若否，则以设定幅度增大所述偏置电压的幅值并继续机械冲击，将检测到所述分压电阻两端的电压大于所述预设电压阈值时所述偏置电压的幅值作为所述最小偏置电压并输出。

3.根据权利要求2所述的静电换能器可靠性试验方法，其特征在于，所述检测机械冲击过程中是否出现所述分压电阻两端的电压大于预设电压阈值的步骤之前，还包括以下步骤：

检测所述机械冲击前后所述静电换能器的保持电压和下拉电压的变化量是否大于预设阈值；

若是，则更换静电换能器，并返回所述对静电换能器的输入电极和偏置电极施加偏置电压，并经预设的分压电阻对所述静电换能器的输入电极和输出电极施加直流电压的步骤；

若否，则进行所述检测机械冲击过程中是否出现所述分压电阻两端的电压大于预设电压阈值的步骤。

4.根据权利要求1所述的静电换能器可靠性试验方法，其特征在于，所述在机械冲击过程中监测所述分压电阻两端的电压的步骤之后，还包括以下步骤：

调节所述冲击量级，并在所述分压电阻两端的电压大于预设电压阈值时，测量得到当前偏置电压下所述静电换能器产生误触发的最小机械冲击并输出。

5.根据权利要求1所述的静电换能器可靠性试验方法，其特征在于，所述对静电换能器的输入电极和偏置电极施加偏置电压，并经预设的分压电阻对所述静电换能器的输入电极和输出电极施加直流电压的步骤之前，还包括以下步骤：

对静电换能器的输入电极和偏置电极施加往返的线性扫描电压，并对所述静电换能器的输入电极与输出电极之间的电阻值进行监控；

当所述电阻值由无穷大变为有限值时，获取对应电压的幅值作为所述静电换能器的下拉电压；

当所述电阻值由有限值变为无穷大时，获取对应电压的幅值作为所述静电换能器的保持电压。

6.一种静电换能器可靠性试验系统，其特征在于，包括：

电压施加模块，用于对静电换能器的输入电极和偏置电极施加偏置电压，并经预设的分压电阻对所述静电换能器的输入电极和输出电极施加直流电压，所述偏置电压小于所述静电换能器的下拉电压；

机械冲击模块，用于根据预设的冲击量级对所述静电换能器施加冲击载荷，进行机械冲击；

电压监测模块，用于在机械冲击过程中监测所述分压电阻两端的电压；

偏置计算模块，用于调节所述偏置电压的幅值，并在所述分压电阻两端的电压大于预设电压阈值时，测量得到当前冲击量级下所述静电换能器产生误触发的最小偏置电压并输出。