[发明专利]平面电机永磁体阵列气浮表面的加工方法有效
| 申请号： | 201511001053.6 | 申请日： | 2015-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN106919000B | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;张鸣;张利;成荣;杨开明;胡青平;赵彦坡;张庆艺;田丽;胡海 | 申请（专利权）人： | 清华大学;北京华卓精科科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H02N15/00 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 邸更岩 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平面 电机 永磁体 阵列 表面 加工 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种平面电机永磁体阵列气浮表面的加工方法，其特征在于该方法按如下步骤进行：
1)准备好一块带基座的永磁体阵列(1)，对该永磁体阵列进行清洁并晾干；
2)在清洁完毕的永磁体阵列的上表面和各永磁体之间各缝隙内涂上具有高渗透性的环氧树脂胶，并固化；
3)对步骤2)中涂有环氧树脂胶并固化的永磁体阵列上表面进行磨削粗加工；
4)在永磁体阵列固化后的环氧树脂胶上表面涂上一层粘接剂，将一块花岗岩薄板放在带基座的永磁体阵列(1)上，并前后左右移动以将两者之间的空气尽量赶出去，使粘接胶层固化；
5)在步骤4)所述花岗岩薄板上表面再次进行磨削加工，并人工研磨，得到所需气浮平面。
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