[发明专利]生物芯片及其制造方法

权利要求书

1.一种生物芯片，其特征在于，

包括细胞培养微结构层和密封微孔膜，所述密封微孔膜覆盖在所述细胞培养微结构层之上，其中，

所述细胞培养微结构层包括细胞培养室和分别设于所述细胞培养室两侧的进液口及出液口，所述细胞培养室由多个微结构体排列形成，所述进液口与细胞培养室之间设有进液通道，所述细胞培养室与出液口之间设有出液通道，使得所述进液口、细胞培养室和出液口连通。

2.根据权利要求1所述的生物芯片，其特征在于，

所述细胞培养微结构层的材料选自硅、玻璃、石英、聚甲基丙烯酸酯、聚二甲基硅氧烷中的一种。

3.根据权利要求1所述的生物芯片，其特征在于，

所述进液口、出液口、进液通道、出液通道以及细胞培养室的深度为80μm至150μm。

4.根据权利要求1所述的生物芯片，其特征在于，

所述微结构体为六边形微结构体，该六边形微结构体的尺寸为内接圆直径为10μm至40μm、深度为10μ至20μm、六边形微结构体间距为20μm至40μm。

5.根据权利要求1所述的生物芯片，其特征在于，

所述密封微孔膜选自聚醚砜膜(PES)、聚对苯二甲酸乙二醇酯膜(PET)、有机系尼龙膜、亲水性聚偏氟乙烯膜(PVDF)中的一种。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的生物芯片，其特征在于，

所述密封微孔膜的微孔密度为10⁴～10¹¹/cm²，孔径尺寸为8μm至40μm。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的生物芯片，其特征在于，

所述生物芯片的厚度为0.3至0.7mm、宽度为1至5mm、长度为3至5mm。

8.一种生物芯片的制造方法，其特征在于，包括下述步骤：

模具制作步骤，使用超纯水清洗硅片，待未完全干燥时，采用丙酮超声进行清洗，再用超纯水将硅片上残余液体洗净并用氮气吹干备用，将芯片置于挥发干缸中滴入数滴HDMS试剂进行修饰之后，将硅片放置于匀胶机正中保持平衡，铺负胶之后，静止规定时间，然后利用加热的电热板，打开汞灯，启动甩胶机进行甩胶，在真空中停滞规定时间，使硅片中央恢复平面，接着，将硅片放置于保温箱中，然后打开曝光机进行曝光，并且用用显影液进行显影；

基片制作步骤，将硅橡胶弹性体和固化剂以体积比10∶1的比例混合搅拌均匀，将混合好的硅橡胶弹性体和固化剂在真空干燥箱中脱气，然后倾倒在制作好的阳模模具表面，烘烤规定时间后取出，待冷却后将固化的聚二甲基硅氧烷剥离，在预定位置打孔分别形成进液口和出液口，然后切割成规定尺寸，并先后在碱液和酸液中浸泡过夜，用去离子水冲洗、烘干备用；

密封微孔膜制造步骤，将聚对苯二甲酸乙二醇酯密封微孔膜清洗消毒，在对应于进液口与出液口处打孔，切割成规定尺寸；

粘合步骤，将已经制造好的细胞培养微结构层、密封微孔膜放置在超净台上，用紫外灯照射，然后将密封微孔膜覆盖在细胞培养微结构层上，依靠吸附力完成粘合。