[发明专利]横向激励大气压CO2激光器主电极调节装置

说明书

本发明公开了一种横向激励大气压CO2激光器主电极调节装置，包括：主电极支撑架、固定在主电极支撑架底部的阴极、分别位于阴极两端的两个预电离器、固定在主电极支撑架顶部的两端之间的阳极、设置在阳极中部之上的驱动器、连接在驱动器两端并由驱动器驱动的两个螺纹连接器、分别连接到两个螺纹连接器的两根螺杆、分别固定在阳极的两端上且分别与两根螺杆连接的两个调节座。本发明在原有电极结构的基础上，采用例如步进电机的驱动器驱动反向螺纹连接器通过螺杆拉紧或延展电极以达到调整电极的平面度、消除电极形变的目的。

技术领域

本发明涉及激光器技术领域，尤其涉及一种横向激励大气压CO2激光器主电极调节装置。

背景技术

主放电电极是横向激励大气压CO2激光器的核心部件。由于要实现 CO2气体的大面积均匀放电，主放电电极(包括阳极和阴极)的面型以及电极间的间距和平行度都需要严格保证。

在如图1所示的横向激励大气压CO2激光器电极结构中，制作成型的阳极和阴极通常被平行固定于电极支架上，阳极的工作面和阴极的工作面相对摆放。图1中的1为主电极支撑架，考虑到阴极与阳极之间存在数万伏的电压差，主电极支撑架一般采用诸如环氧等绝缘性材料加工而成。2 为阴极，阴极通常为高压连接极，考虑到电极的溅射，阴极一般采用碳钢加工制成。3为预电离器，分别位于阴极两侧。预电离器3一般采用石英玻璃管内表面镀金属膜层的方式制作。在使用时，在石英管两端引出导线接地，其作用是在主放电建立前，预电离器3由于感应高压形成电晕放电，在电极间形成一定数量的电子，便于主放电电极形成大面积均匀放电。4 为阳极，一般也采用碳钢或硬铝制成。与阴极2作为高压接入端相呼应，阳极4通常作为接地端，与大地相连。

主放电电极受自身长度和重量的影响，在安装和放电的过程中，由于应力的释放会发生一定的形变，当电极的形变导致电场不均匀度超过0.5％时，主电极间的放电过程会趋于不稳定，主电极间的放电形式将由辉光放电过渡为弧光放电，从而破坏激光的产生。

发明内容

(一)要解决的技术问题

为了解决上述横向激励大气压CO2激光器的电极形变问题，本发明提供一种横向激励大气压CO2激光器主电极调节装置。本发明在原有电极结构的基础上，采用例如步进电机的驱动器驱动反向螺纹连接器通过螺杆拉紧或延展电极以达到调整电极的平面度、消除电极形变的目的。

(二)技术方案

根据本发明的一方面，提供一种横向激励大气压CO2激光器主电极调节装置，其特征在于，包括：主电极支撑架1、固定在主电极支撑架1底部的阴极2、分别位于阴极2两端的两个预电离器3、固定在主电极支撑架1顶部的两端之间的阳极4、设置在阳极4中部之上的驱动器5、连接在驱动器5两端并由驱动器5驱动的两个螺纹连接器6、分别连接到两个螺纹连接器6的两根螺杆7、分别固定在阳极4的两端上且分别与两根螺杆7连接的两个调节座9。

优选地，横向激励大气压CO2激光器主电极调节装置还包括固定在阳极4上用于分别约束两根螺杆7的两个拉杆支架8。

优选地，两个螺纹连接器6、两根螺杆7、两个调节座9各位于驱动器5两侧，呈对称分布。

优选地，两个螺纹连接器6、两根螺杆7、两个拉杆支架8、两个调节座9各位于驱动器5两侧，呈对称分布。

优选地，位于驱动器5一侧的螺纹连接器6和螺杆7与位于驱动器5 另一侧的螺纹连接器6和螺杆7构成反向螺纹。

优选地，驱动器5为电机或直杆。