[发明专利]多线切割设备锥线轮机构

说明书

技术领域

本发明涉及晶片加工领域，尤其涉及多线切割设备锥线轮机构。

背景技术

目前，多线切割技术是世界上比较先进的晶片加工技术，其原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对晶片等硬脆材料进行摩擦，从而达到切割效果。

使用多线切割机完成晶片切割后，堆积在收线轮上的切割线需要清理，去除旧线以便重新使用。

传统去除旧线的方法是采用气焊切割，其结构繁琐，操作复杂，且具有一定的危险性。

发明内容

本发明的目的是针对上述技术问题，提供一种结构合理的多线切割设备锥线轮机构，其采用液体调节控制，运行可靠，方便切割旧线的拆除。

本发明的技术方案：

为解决上述技术问题，本发明提供多线切割设备锥线轮机构，其包括传动部分，液压调节部分，线轮部分。

其中，传动部分包括轴承座、主轴、圆锥滚子轴承，主轴由一对圆锥滚子轴承背对背支撑固定在底座上的轴承座上；液压调节部分包括油缸缸体、油缸静活塞，油缸静活塞设置在油缸缸体的内腔，油缸静活塞的前端为锥形，油缸静活塞前端的锥形与主轴中部的锥孔配合设置；线轮部分包括锥形轮、压线盘、锁紧法兰，锥形轮内部设置有空腔，油缸缸体设置在锥形孔的空腔内，压线盘内侧依靠在油缸缸体的轴肩上，并由锁紧法兰锁紧；锥形轮通过长螺杆与主轴连接。

进一步地，所述的液压调节部分还包括压环、压盖，油缸静活塞上设置有中间槽，压环装卡在中间槽内，压盖压紧压环，并通过螺钉固定在主轴上。

进一步地，所述的压线盘为环状圆柱形，其中心设置有轴向孔，轴向孔的尺寸与油缸缸体端部的外径尺寸配合设置，压线盘的柱状面径向相对位置设置有径向通孔；所述的油缸缸体的端部径向相对位置设置有定位孔，压线盘上的径向通孔与油缸缸体上的定位孔轴向位置相对。

进一步地，所述的线轮部分还包括滑销，压簧，顶丝及把手；滑销、压簧、顶丝依次设置在压线盘的径向通孔内，顶丝顶住压簧，使滑销的端部嵌入油缸缸体上的定位孔内；把手固定在滑销的中部。

进一步地，所述锥形轮的后端设置有挡边结构，其中部的内腔尺寸与油缸缸体的外径配合设置。

进一步地，所述的压线盘上设置有拆卸孔，其包括圆形孔槽，椭圆形槽及连接在圆形、椭圆形槽之间的方形槽；在锁紧状态时，把手装卡在方形槽内。

上述多线切割设备锥线轮机构的使用方法，包括以下步骤：

S1，在液压调节部分作用下，油缸缸体的内侧为进油腔，油缸缸体受到向内侧的作用力，其上固定的压线盘压紧锥形轮端面，切割线在压线盘和锥形轮的挡边结构组成的容线槽内排列；

S2，通过电磁阀调整液压调节部分的进油压力，使油缸缸体的推力始终大于切割线对压线盘的侧压力；

S3，由伺服电机驱动传动部分，使主轴做高速正反转运动，完成切割线切割；

S4，在液压调节部分作用下，油缸缸体的外侧为进油腔，油缸缸体受到向外侧的作用力，其上固定的压线盘脱离锥形轮端面，切割线蓬松发散；

S5，拆除锁紧法兰，使用把手将滑销向外侧滑移，使滑销的端部脱离油缸缸体上的定位孔，拆除压线盘；旋下长螺杆，拆除锥形轮，切割线可手动去除。

本发明有益效果：

本发明提供的多线切割设备锥线轮机构应用于晶片加工技术领域，其结构合理，采用液体调节控制，运行可靠，方便切割旧线的拆除。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是图1不含锁紧法兰的左视图；

图3是本发明之锥形轮结构示意图；

图4是图3的剖视图；

图5是本发明之压线盘的结构示意图；

图6是图1的局部放大图；

图7是把手装卡在方形槽时滑销固定状态剖视图；

图8是压线盘压紧锥形轮的结构示意图；

图9是压线盘脱离锥形轮的结构示意图；

图10是把手旋转90°后滑销固定剖视图。

其中：

1.轴承座；2.主轴；3.圆锥滚子轴承；4.锥形轮；5.长螺杆；6.油缸静活塞；7.压环；8.压盖；9.油缸缸体；10.压线盘；11.锁紧法兰；12.锁紧螺母；13.滑销；14.把手；15.拆卸孔；16.挡边结构；17.螺杆孔；18.压簧；19.顶丝；20.轴向孔；21.径向通孔。

具体实施方式

下面结合具体实施例和附图对本发明的多线切割设备锥线轮机构进行详细说明：