[发明专利]一种压电型薄膜式节流阀

权利要求书

1.一种压电型薄膜式节流阀，其特征是：包括自上而下依次安装的上阀体、薄膜、下阀体和固定板，所述上阀体由内向外依次设有互相连通的第一内环腔和第一外环腔，所述下阀体由内向外依次设有相互连通的第二内环腔和第二外环腔，所述第一内环腔和第二内环腔中心分别设有第一顶杆和第二顶杆，所述第一顶杆的下端与薄膜顶面接触，上端与驱动器接触，所述第二顶杆上端与薄膜底面接触，下端由碟形弹簧支撑。

2.如权利要求1所述的一种压电型薄膜式节流阀，其特征是：所述驱动器为压电陶瓷驱动器，压电陶瓷驱动器顶部设有定位装置。

3.如权利要求2所述的一种压电型薄膜式节流阀，其特征是：所述定位装置为螺钉、销钉或螺杆。

4.如权利要求1所述的一种压电型薄膜式节流阀，其特征是：所述薄膜与上阀体和下阀体之间设有密封装置。

5.如权利要求4所述的一种压电型薄膜式节流阀，其特征是：所述密封装置为密封圈或者密封胶。

6.如权利要求4所述的一种压电型薄膜式节流阀，其特征是：所述薄膜上、下两个面设有与第一外环腔和第二外环腔相对应的环形槽。

7.如权利要求1所述的一种压电型薄膜式节流阀，其特征是：所述第一内环腔和第一外环腔由薄膜与上阀体之间的空隙连通。

8.如权利要求1所述的一种压电型薄膜式节流阀，其特征是：所述第二内环腔和第二外环腔由薄膜与下阀体之间的空隙连通。

9.如权利要求7或8所述的任意一种压电型薄膜式节流阀，其特征是：所述空隙为环状。

10.如权利要求1所述的一种压电型薄膜式节流阀的节流方法，其特征是：包括以下步骤：

步骤一：调节定位装置，使压电陶瓷驱动器上下移动，从而调整薄膜与上阀体和下阀体之间的初始空隙；

步骤二：使工作中使用的流体介质经过压电型薄膜式节流阀，通过对压电陶瓷驱动器的控制，调节薄膜与上阀体和下阀体之间空隙的大小，从而调节流体介质在上阀体和下阀体的流量，达到差动调节的目的；

步骤三：每次使用前，重复上述步骤一和步骤二。