[发明专利]一种液位沉降法镀膜的装置

权利要求书

1.一种液位沉降法镀膜的装置，包括镀膜腔体，安装在镀膜腔体内的夹持工装，储液槽，将液体在镀膜腔体和储液槽之间输送的输液泵以及控制单元，其特征在于，所述镀膜腔体设有侧开的工件进出口以及密封所述工件进出口的密封盖；

所述镀膜腔体内设有将其分隔成上腔体和下腔体的均液隔板，所述均液隔板上设有多个过液孔，所述镀膜腔体与输液泵连接的进出液口位于下腔体；

所述均液隔板在垂直方向上间隔布置有多块，多块均液隔板自上而下过液孔的孔径逐渐增大、孔数逐渐减少，各块均液隔板的过液孔总面积近似。

2.如权利要求1所述的液位沉降法镀膜的装置，其特征在于，所述镀膜腔体为柱型。

3.如权利要求1所述的液位沉降法镀膜的装置，其特征在于，所述输液泵采用可调速双向泵，可调速双向泵通过调节送液、抽液流量控制所述镀膜腔体内镀液液面上升、下降速率以控制薄膜厚度。

4.如权利要求2所述的液位沉降法镀膜的装置，其特征在于，所述镀膜腔体为圆柱型，所述圆柱型的镀膜腔体通过纵向截面分割成安装有夹持工装的腔本体以及密封盖，所述夹持工装可绕中心轴旋转。

5.如权利要求1所述的液位沉降法镀膜的装置，其特征在于，所述的均液隔板上的过液孔绕均液隔板的中心轴中心对称布置。

6.如权利要求1所述的液位沉降法镀膜的装置，其特征在于，所述储液槽至少包括一个镀膜液槽以及两个清洗液槽。

7.如权利要求1所述的液位沉降法镀膜的装置，其特征在于，所述镀膜腔体还设有进气口和出气口，所述进气口用于连接保护气系统，所述保护气系统的气源至少包括氩气、氮气、氧气和氢气中的一种。

8.如权利要求1所述的液位沉降法镀膜的装置，其特征在于，所述镀膜腔体外壁设有加热烘烤单元。