[发明专利]光纤用母材的制造装置

说明书

一种光纤用母材的制造装置，包括反应容器；燃烧器，燃烧器的一部分从连通反应容器的内部与外部之间的插入口插入到反应容器的内部，朝向位于反应容器的内部的原材料喷出火焰；以及密封结合部件，在插入口中在反应容器和燃烧器之间进行气密地密封。密封结合部件包括：一端，密接在插入的燃烧器处；另一端，相对于燃烧器不进行接触并且具有使燃烧器插入的孔，以及相对于反应容器进行密接；以及连接部，隔断在一端与另一端之间的应力传播，并且将一端和另一端气密地连接。

[技术领域]

本发明涉及光纤用母材的制造装置。

[背景技术]

作为光纤用母材的制造方法，具有轴向气相沉积法(Vapor phase AxialDeposition method，VAD法)，外气相沉积法(Outside Vapor Deposition method，OVD法)等。在这些方法中，向在反应容器中使氢和氧燃烧的氢氧火焰中提供四氯化硅(SiCl4)等的硅化物。然后，堆积通过水解反应从硅化物生成的二氧化硅(SiO2)微粒，以生长多孔质母材。得到的多孔质母材通过加热和烧结，以成为透明的光纤用母材(例如参照专利文献1)。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]特开平1-239033号公报

[发明内容]

[发明要解决的问题]

在生长多孔质母材的过程中，针对多孔质母材的品质变化的情况。

[解决课题的手段]

本发明的第一实施方式提供了一种光纤用母材的制造装置，包括反应容器；燃烧器，燃烧器的一部分从连通反应容器的内部与外部之间的插入口插入到反应容器的内部，朝向位于反应容器的内部的原材料喷出火焰；以及密封结合部件，在插入口中在反应容器和燃烧器之间进行气密地密封，密封结合部件包括：一端，密接在插入的燃烧器处；另一端，相对于燃烧器不进行接触并且具有使燃烧器插入的孔，以及相对于反应容器进行密接；以及连接部，隔断在一端和另一端之间的应力传播，并且将一端与另一端气密地连接。

本发明的第二实施方式提供了一种光纤用母材的制造方法，其使用光纤用母材的制造装置，该光纤用母材的制造装置包括反应容器；燃烧器，燃烧器的一部分从连通反应容器的内部与外部之间的插入口插入到反应容器的内部；以及密封结合部件，在插入口中在反应容器和燃烧器之间进行气密地密封，密封结合部件包括：一端，在插入的燃烧器处进行密接；另一端，相对于燃烧器不进行接触并且具有使燃烧器插入的孔，以及相对于反应容器进行密接；以及连接部，隔断在一端和另一端之间的应力传播，并且将一端与另一端气密地连接，所述制造方法使用所述制造装置，朝向位于反应容器的内部的原材料，从燃烧器喷出火焰。

上述的发明内容并未列出本发明的全部特征。这些特征组的子组合也属于本发明。

[附图说明]

图1是通过VAD方法制造光纤用母材210的制造装置10的示意图。

图2是反应容器110和燃烧器130之间的密封构造的示意图。

图3是燃烧器靴状部140的示意图。

图4是在光纤用母材210中径向折射率分布的图表。

图5是反应容器110和燃烧器130之间的密封构造的示意图。

图6是在光纤用母材210中径向折射率分布的图表。

以下，通过发明的实施方式对本发明进行说明。以下实施方式不用于限制权利要求的范围。实施方式中说明的全部特征的组合并不是发明的解决手段所必须的。

[具体实施方式]