[发明专利]一种半导体专用设备用主轴角度自动调整装置

权利要求书

1.一种半导体专用设备用主轴角度自动调整装置，其特征在于，包括：

主轴(1)，所述主轴(1)与承片台(6)相对设置，其中，所述主轴(1) 与所述承片台(6)之间设置有非接触式测量仪(11)；

控制机构(2)，与所述非接触式测量仪(11)连接，所述控制机构(2) 根据所述非接触式测量仪(11)传输来的厚度变化信号输出一控制信号；

传动机构(3)，与所述控制机构(2)连接，所述传动机构(3)根据所述 控制机构(2)输出的控制信号输出驱动动力；

调整机构(4)，所述调整机构(4)的一端与所述传动机构(3)连接，所 述调整机构(4)的另一端与所述主轴(1)固定连接；其中，所述调整机构(4) 在所述传动机构(3)的驱动动力下调整所述主轴(1)的位置及角度。

2.根据权利要求1所述的半导体专用设备用主轴角度自动调整装置，其 特征在于，还包括：一固定底座(5)，所述固定底座(5)包括中空结构(51)， 所述传动机构(3)穿过所述中空结构(51)与所述调整机构(4)连接。

3.根据权利要求2所述的半导体专用设备用主轴角度自动调整装置，其 特征在于，所述控制机构(2)为可编程控制器。

4.根据权利要求3所述的半导体专用设备用主轴角度自动调整装置，其 特征在于，所述传动机构(3)包括：

步进电机(31)，与所述可编程控制器连接；

联轴器(32)，所述联轴器(32)的一端与所述步进电机(31)连接，所 述联轴器(32)的另一端穿过所述中空结构(51)与所述调整机构(4)连接； 其中，所述联轴器(32)在所述步进电机(31)的作用下在所述中空结构(51) 内做旋转运动。

5.根据权利要求4所述的半导体专用设备用主轴角度自动调整装置，其 特征在于，所述固定底座(5)上设置有一铰链，所述联轴器(32)通过所述 铰链与所述调整机构(4)连接。

6.根据权利要求5所述的半导体专用设备用主轴角度自动调整装置，其 特征在于，所述传动机构(3)还包括：设置于所述步进电机(31)与所述联 轴器(32)之间的减速器(33)。

7.根据权利要求5所述的半导体专用设备用主轴角度自动调整装置，其 特征在于，所述调整机构(4)包括：

两个相对设置的限位底板(41)；

调节块(42)，所述调节块(42)的一端与两个限位底板(41)中的一个 限位底板(41)轴接，所述调节块(42)的另一端与所述两个限位底板(41) 中的另一个限位底板(41)轴接，所述调节块(42)可沿自身轴向方向转动；

调整底板(43)，与所述限位底板(41)间隔设置，且所述主轴(1)与所 述调整底板(43)相切设置；所述调整底板(43)上设置有一滑块，所述联轴 器(32)通过所述铰链与所述滑块连接；其中，所述调整底板(43)与所述限 位底板(41)之间的间隔距离可调。

8.根据权利要求7所述的半导体专用设备用主轴角度自动调整装置，其 特征在于，所述铰链、所述滑块以及所述调节块(42)通过丝杠固定连接。

9.根据权利要求7所述的半导体专用设备用主轴角度自动调整装置，其 特征在于，所述调节块(42)的两端分别通过一固定块(44)与所述限位底板 (41)连接。