[发明专利]具有微结构和光谱纯化层的光源收集镜在审
| 申请号： | 201510962260.1 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN105446088A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 金春水;孙诗壮;王君;姚舜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 朱红玲 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 微结构 光谱 纯化 光源 收集 | ||
1.具有微结构和光谱纯化层的收集镜，包括在极紫外光收集镜基底(1)上依次制作的光栅刻蚀层(2)、周期性多层膜(3)以及光谱纯化层，其特征是；
在所述光栅的刻蚀层(2)上刻蚀光栅为二值光栅结构，且光栅的线宽与红外光散射光源中驱动的红外激光匹配，实现红外光的高效散射，光栅刻蚀的深度为2～4μm；所述周期性多层膜(3)的顶层材料为Si；所述光谱纯化层(6)由两层光谱纯化层中间设置Si作为间隔层(7)组成。
2.根据权利要求1所述的具有微结构和光谱纯化层的收集镜，其特征在于，所述极紫外光收集镜基底(1)材料为Si片、熔石英、微晶玻璃或ULE材料。
3.根据权利要求1或2所述的具有微结构和光谱纯化层的收集镜，其特征在于，在刻蚀光栅之前对刻蚀材料的表面进行抛光；且刻蚀光栅的种类为相位光栅。
4.根据权利要求1所述的具有微结构和光谱纯化层的收集镜，其特征在于，所述光栅的深度为激光波长的1/4。
5.根据权利要求1所述的具有微结构和光谱纯化层的收集镜，其特征在于，所述周期性多层膜(3)是由Mo、Si两种材料组成的周期性多层膜结构。
6.根据权利要求5所述的具有微结构和光谱纯化层的收集镜，其特征在于，所述周期性多层膜(3)中Mo的厚度占周期厚度的40％，周期厚度为6.9～7.1nm，周期数为40～50。
7.根据权利要求1所述的具有微结构和光谱纯化层的收集镜，其特征在于，所述光谱纯化层(6)的材料为C、SiC或Si3N4中的任意一种或者两种的组合。
8.根据权利要求1或7所述的具有微结构和光谱纯化层的收集镜，其特征在于，所述光谱纯化层(6)中，间隔层Si(7)的厚度为3～5nm。
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