[发明专利]一种用于高精度光学元件的多点柔性支撑装置在审
| 申请号： | 201510960101.8 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN105467544A | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 王辉;周烽;郭本银;谢耀;王丽萍 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00;G02B7/02;G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 陶尊新 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 高精度 光学 元件 多点 柔性 支撑 装置 | ||
1.一种用于高精度光学元件的多点柔性支撑装置，其特征在于，其包括支撑盘(9)和柔性支撑结构单元(3)，所述柔性支撑结构单元(3)包括凸台(2)、凸台压板(6)、凸台紧固螺母(8)、柔性支撑主体结构(4)、蝶形弹簧(5)和支撑位置调整螺母(7)，光学元件结构(1)通过多组圆周均布的所述柔性支撑结构单元(3)固定在所述支撑盘(9)上，所述凸台(2)粘接固定在光学元件结构(1)的侧壁，凸台(2)通过凸台压板(6)和凸台紧固螺母(8)压紧在柔性支撑主体结构(4)上，支撑位置调整螺母(7)将柔性支撑主体结构(4)压紧到支撑盘(9)上，柔性支撑主体结构(4)和支撑盘(9)之间设置有蝶形弹簧(5)，通过柔性支撑主体结构(4)将相关自由度方向光学元件结构(1)的热应力转化为柔性支撑主体结构(4)的变形应力。
2.根据权利要求1所述的一种用于高精度光学元件的多点柔性支撑装置，其特征在于，所述柔性支撑主体结构(4)包括，十字形柔性铰链结构(10)和并联片体形柔性结构(11)，十字形柔性铰链结构(10)和并联片体形柔性结构(11)均通过火花线切割技术在整个零件上切出通槽，十字形柔性铰链结构(10)由通槽(C1)、通槽(C2)、通槽(C6)和通槽(C7)切割形成，所述通槽(C1)、通槽(C2)、通槽(C6)和通槽(C7)结构相同，所述通槽(C1)包括竖直部分和水平部分，所述通槽(C1)和通槽(C2)设置在柔性支撑主体结构(4)的竖直结构的下端，通槽(C1)和通槽(C2)的水平部分设置在柔性支撑主体结构(4)的竖直机构和水平结构连接处，所述通槽(C1)和通槽(C2)设置在柔性支撑主体结构(4)的竖直结构的上端，所述通槽(C1)和通槽(C2)整体与通槽(C6)和通槽(C7)十字交叉相对设置，并联片体形柔性结构(11)由通槽(C3)、通槽(C4)和通槽(C5)切割形成，所述通槽(C3)和通槽(C4)结构相同，所述通槽(C3)包括两个水平部分，两个水平部分一端通过竖直部分连通，所述通槽(C3)和通槽(C4)对称设置，水平的通槽(C5)设置在通槽(C3)和通槽(C4)整体的下方。
3.根据权利要求1或2所述的一种用于高精度光学元件的多点柔性支撑装置，其特征在于，所述柔性支撑结构单元(3)的数量n的取值为：n≥3。
4.根据权利要求3所述的一种用于高精度光学元件的多点柔性支撑装置，其特征在于，所述柔性支撑结构单元(3)数量为6。
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