[发明专利]基于基准点的相关显微术

权利要求书

1.一种用于利用光学图像和带电粒子图像对样本体积中的感兴趣区域的位置进行三维相关的方法，包括：

提供包括样本体积的样本，所述样本体积包含感兴趣区域以及包括分布在所述样本体积内的基准点，所述基准点在所述样本体积的光学图像和带电粒子图像两者中都是可识别的；

使用光学系统对所述样本体积进行成像；

使用带电粒子束对所述样本体积进行成像；以及

使用在所述光学图像和带电粒子束图像两者中识别的基准点的位置来使所述样本体积中的感兴趣区域的位置相关。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述基准点具有已知的三维形状以及包括在它们表面上但不在它们内部的标记。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的方法，其中使所述样本体积中感兴趣区域的位置相关包括使用一个或多个光学图像来确定遍及所述样本体积分布的基准点中的至少一些的三维位置以及使用一个或多个带电粒子图像来确定分布在所述样本体积内的基准点的三维位置。

4.根据权利要求1或权利要求2所述的方法，其中所述样本体积在使用光学系统对所述样本体积进行成像的步骤和使用带电粒子束对所述样本体积进行成像的步骤之间改变形状，以及其中使所述样本体积中感兴趣区域的位置相关包括重新分配带电粒子束图像的像素以使得光学图像中基准点的三维位置与带电粒子束图像中基准点的三维位置匹配。

5.根据权利要求1或权利要求2所述的方法，其中所述基准点在使用光学系统对所述样本体积进行成像的步骤和使用带电粒子束对所述样本体积进行成像的步骤之间改变形状，以及其中使所述样本体积中感兴趣区域的位置相关包括使用基准点的形状上的变化。

6.根据权利要求1或权利要求2所述的方法，其中所述基准点具有已知的三维形状以及包括在它们表面上但不在它们内部的标记。

7.根据权利要求1或权利要求2所述的方法，其中分布在所述样本体积内的基准点包括荧光球体以及其中所述荧光球体包括存在于球体表面上但并且未渗入球体内部的染料。

8.根据权利要求1或权利要求3所述的方法，其中所述基准点以足够低的浓度分布在所述样本体积内，所述足够低的浓度能够在没有来自附近荧光标记的实质干扰的情况下对每个基准点单独地成像。

9.根据权利要求1或权利要求2所述的方法，进一步包括在所述样本体积和基板的交界面处的X-Y平面内的基准点的平面层，所述基准点与遍及所述样本体积分布的那些基准点是可区分的。

10.根据权利要求1或权利要求2所述的方法，其中使用光学系统对所述样本体积进行成像包括三维超分辨率成像。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述超分辨率成像包括光子激活定位显微术。

12.根据权利要求1或2所述的方法，其中使用带电粒子束系统通过顺序成像和材料去除循环来获得对象的三维位置。

13.根据权利要求12所述的方法，其中成像包括获得扫描电子显微镜图像以及材料去除包括用聚焦离子束研磨。

14.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述基准点包括荧光纳米粒子。

15.根据权利要求14所述的方法，其中所述纳米粒子是染料功能化的球体。

16.根据权利要求15所述的方法，其中所述染料功能化的球体包含存在于球体表面上并且未渗入球体内部的染料。

17.根据权利要求15或16所述的方法，其中所述染料是可光激活的染料或蛋白质。

18.根据权利要求14所述的方法，其中所述纳米粒子是量子点。

19.根据权利要求2所述的方法，其中使用一个或多个带电粒子图像或者一个或多个光学图像来确定基准点的三维位置进一步包括确定基准点的三维形状。

20.根据权利要求14所述的方法，其中使用在光学图像和带电粒子束图像两者中识别的基准点的位置进一步包括使用基准点的形状上的变化。