[发明专利]一种真空自密封光学洁净系统

说明书

技术领域

本发明涉及的是激光器技术，尤其是一种真空自密封光学洁净系统。

背景技术

随着科学技术发展，光学功率不断提高，而当光学通道在空气中传输时，空气环境中的油污、杂质和水汽等会造成光束质量下降，特别是长距离光束传输过程，会大大降低光束功率；同时如果空气中的杂质或油污附着在光学镜面上，更容易造成光学镜面的污染和破损。因此对真空自密封光学洁净系统是解决光束传输热晕现象和内光路镜面防护的重要技术手段。

同时由于光学系统的特殊性，当光学元件的布设平台发生微小变形时，光路也会发生偏移，特别是对于长距离传输时，对光路影响更是巨大，所以为了提高光路稳定性，对布设系统的刚强度要求也较高。

发明内容

本发明的目的，就是针对现有技术所存在的不足，而提供一种真空自密封光学洁净系统，该方案结合真空自密封设备研制技术、抽真空技术、氮气置换技术、真空及洁净度环境监测技术等多种手段，为光学传输通道提供了的可实现高真空度的自密封与洁净的环境系统。

本方案是通过如下技术措施来实现的：

一种真空自密封光学洁净系统，包括有自密封装置、抽真空单元、环境监测单元、充氮气单元和操控单元；自密封装置与抽真空单元、充氮气单元和环境监测单元连接；操控单元能够接收环境监测单元的回传信号并控制抽真空单元和充氮气单元的启停。

作为本方案的优选：自密封装置包括有封盖板、框架、光束输入输出端口、光路平台、充气口、真空口；所述封盖板与框架之间固定连接；光路平台与框架固定连接；光束输入输出端口、充气口和真空口设置在框架上；充气口与充氮气单元连接；抽气口与抽真空单元连接；环境监测单元设置在由框架、封盖板和光路平台组成的封闭区域内。

作为本方案的优选：框架和封盖板之间的接触面上设置有密封件。

作为本方案的优选：光束输入输出端口与框架的接触面上设置有密封件。

作为本方案的优选：框架上设置有加强筋。

作为本方案的优选：框架上设置有电气连接板。

作为本方案的优选：光路平台与框架的接触面上设置有密封件。

本方案的有益效果可根据对上述方案的叙述得知，由于在该方案结合光路设计，材料选型、自密封结构设计、高刚强度结构研制、装备件清洁等多种手段，为光学传输通道提供了的可实现高真空度的自密封与洁净的环境系统装置，具有系统结构简单，自动化操作方便等优点。

由此可见，本发明与现有技术相比，具有实质性特点和进步，其实施的有益效果也是显而易见的。

附图说明

图1为本发明的自密封装置的结构示意图。

图2为图1中框架的结构示意图。

图3为本发明的系统控制图。

图中，1为封盖板，2为框架，3为光路输入输出端口，4为密封件，5为光路平台，6为真空口，7为加强筋，8为电气连接板，9为充气口。

具体实施方式

本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。

本说明书（包括任何附加权利要求、摘要和附图）中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。

如图所示，本方案包括有自密封装置、抽真空单元、环境监测单元、充氮气单元和操控单元；自密封装置与抽真空单元、充氮气单元和环境监测单元连接；操控单元能够接收环境监测单元的回传信号并控制抽真空单元和充氮气单元的启停。

自密封装置包括有封盖板、框架、光束输入输出端口、光路平台、充气口、真空口；所述封盖板与框架之间固定连接；光路平台与框架固定连接；光束输入输出端口、充气口和真空口设置在框架上；充气口与充氮气单元连接；抽气口与抽真空单元连接；环境监测单元设置在由框架、封盖板和光路平台组成的封闭区域内。框架和封盖板之间的接触面上设置有密封件。光束输入输出端口与框架的接触面上设置有密封件。框架上设置有加强筋。框架上设置有电气连接板。光路平台与框架的接触面上设置有密封件。

该方案结合光路设计，材料选型、自密封结构设计、高刚强度结构研制、装备件清洁等多种手段，为光学传输通道提供了的可实现高真空度的自密封与洁净的环境系统装置，具有系统结构简单，自动化操作方便等优点。

本发明并不局限于前述的具体实施方式。本发明扩展到任何在本说明书中披露的新特征或任何新的组合，以及披露的任一新的方法或过程的步骤或任何新的组合。