[发明专利]一种P型合金制备工艺在审
| 申请号： | 201510904708.4 | 申请日： | 2015-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN105483829A | 公开（公告）日： | 2016-04-13 |
| 发明（设计）人： | 孙毅;王林;王淼;陈建梅;岳彩广;李豹;宋都明 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/52 | 分类号： | C30B29/52;C30B11/00 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 王凤英 |
| 地址： | 300384 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 合金 制备 工艺 | ||
1.一种P型合金制备工艺，其特征在于，该工艺有以下步骤：
（1）.先将电子级原料装在石英埚内，再向石英埚内添加少量硼粉；
（2）.控制炉压小于15mtorr，抽真空；
（3）.将功率匀速升至70kw，将原料充分溶解；
（4）.将功率下降至45kw，持续30分钟；
（5）.将石英埚位上升至0埚位；
（6）.充氩气并控制炉内氩气流量为60slpm，炉压为17torr；
（7）.化料结束后，开启石英锅埚转，将石英锅原料内的硼元素搅拌均匀；
（8）.将功率匀速降至0kw；停火焖至4小时；
（9）.拆炉时取出焖埚料，用腐蚀液对取出的焖埚料表面进行腐蚀，腐蚀后的焖埚料即为制备出的P型合金。
2.根据权利要求1所述的一种P型合金制备工艺，其特征在于，步骤（1）中，将所述的电子级原料分两次装在石英埚内，第一次和第二次装料比例为1:3，第一次装料后添加少量硼粉，再第二次装料。
3.根据权利要求1所述的一种P型合金制备工艺，其特征在于，步骤（7）中，对开启石英锅埚转的周期按照五个时间段进行控制：0-5分钟锅转为6转；5-10分钟锅转为1转；10-15分钟锅转为6转；15-20分钟锅转为1转；20-30分钟锅转为6转。
4.根据权利要求1所述的一种P型合金制备工艺，其特征在于，步骤（9）中，所述的腐蚀液由氢氟酸和硝酸按照重量比为1:7混合而成。
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