[发明专利]一种垂直磁化的磁电阻随机存储器有效
| 申请号: | 201510902602.0 | 申请日: | 2015-12-09 |
| 公开(公告)号: | CN105552214B | 公开(公告)日: | 2018-11-09 |
| 发明(设计)人: | 李辉辉;徐庶;左正笏;韩谷昌;蒋信;刘瑞盛;孟皓;刘波 | 申请(专利权)人: | 中电海康集团有限公司 |
| 主分类号: | H01L43/08 | 分类号: | H01L43/08 |
| 代理公司: | 杭州之江专利事务所(普通合伙) 33216 | 代理人: | 张慧英 |
| 地址: | 311121 浙江省杭州市余*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 垂直 磁化 磁电 随机 存储器 | ||
1.一种垂直磁化的磁电阻随机存储器,其特征在于包括:磁性隧道结、非磁性的隔离层、磁纳米线,磁性隧道结和磁纳米线之间由非磁性的隔离层隔开,磁纳米线内含有磁畴,磁性隧道结包含有铁磁性的固定层、铁磁性的自由层以及两者之间非磁性的势垒层,且固定层、自由层和磁纳米线的磁化方向垂直于膜层,磁畴通过电流产生的扭矩发生平移使自由层的磁化方向发生反转。
2.根据权利要求1所述的一种垂直磁化的磁电阻随机存储器,其特征在于,铁磁性的固定层在非磁性的势垒层上方、铁磁性的自由层在非磁性的势垒层下方。
3.根据权利要求1所述的一种垂直磁化的磁电阻随机存储器,其特征在于,铁磁性的固定层在非磁性的势垒层下方、铁磁性的自由层在非磁性的势垒层上方。
4.根据权利要求1所述的一种垂直磁化的磁电阻随机存储器,其特征在于,铁磁性的固定层或铁磁性的自由层或磁纳米线含有SAF结构。
5.根据权利要求1所述的一种垂直磁化的磁电阻随机存储器,其特征在于,非磁性的隔离层形成连续的纳米线,隔离层由具有自旋霍尔效应的材料组成。
6.根据权利要求1所述的一种垂直磁化的磁电阻随机存储器,其特征在于,磁纳米线相对于隔离层的另一侧与自旋霍尔纳米线连接,自旋霍尔纳米线由具有自旋霍尔效应的材料组成。
7.根据权利要求1所述的一种垂直磁化的磁电阻随机存储器,其特征在于:非磁性的隔离层形成连续的纳米线,隔离层由具有自旋霍尔效应的材料组成;磁纳米线相对于隔离层的另一侧与自旋霍尔纳米线连接,自旋霍尔纳米线由具有自旋霍尔效应的材料组成。
8.根据权利要求4所述的一种垂直磁化的磁电阻随机存储器,其特征在于,SAF中的反铁磁耦合层由以下材料中的一种或几种组成:钌、铑、铼、铱、铜、银、金及包含上述材料的合金。
9.根据权利要求1-8任一权利要求所述的一种垂直磁化的磁电阻随机存储器,其特征在于,固定层、自由层和磁纳米线由以下材料中的一种或几种组成:钴、铁、镍、铂、钯、硼、铪、锆、钽、铌、钒、钛、钼、钨以及包含上述材料的合金,以及由上述元素及合金组成的多层膜结构;势垒层由以下材料中的一种或几种组成:氧化镁、氧化铝、氧化铝镁、氧化锌、氧化镁锌或氮化硼中的一种或几种;隔离层、自旋霍尔纳米线由以下材料和结构中一种或几种组成:铂、钯、钽、钼、铋、钨、铑、铼、铱、铜、银、金以及包含上述材料的合金,以及由上述元素及合金组成的多层膜结构。
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