[发明专利]压降设备

权利要求书

1.一种压降设备，其包含平面基板和盖板，以及气体入口开口和气体排出 口，所述气体入口开口和气体排出口通过毛细槽连接，其中所述毛细槽在所述 基板中以蚀槽或者压槽的形式被实施并且由所述盖板覆盖。

2.根据权利要求1所述的压降设备，其特征在于，存在加热元件，其作为 另外的板毗邻地连接在所述基板的一侧上或者所述盖板的一侧上。

3.根据权利要求1和2当中任一项所述的压降设备，其特征在于，所述基 板由各向异性地可蚀刻的材料构成，尤其是硅或者半导体材料。

4.根据权利要求1至3当中任一项所述的压降设备，其特征在于，所述盖 板由玻璃构成，尤其是硼硅玻璃。

5.根据权利要求1至4当中任一项所述的压降设备，其特征在于，所述气 体入口开口和所述气体排出口开口都实施在所述基板的同一平面上或者实施在 所述基板的相对的平面上。

6.根据权利要求1至5当中任一项所述的压降设备，其特征在于，所述气 体入口实施在所述硅板的自由侧面上并且所述气体排出口实施在所述玻璃板的 自由侧面上。

7.一种由压降设备制成的模块，其特征在于，所述模块由至少2个到最多 10个根据权利要求1至6当中任一项所述的压降设备串联连接制成，其中所述 模块能由2至10对基板/盖板构成或者由至少一个盖板和最多10个基板构成， 所述构成的方式是所述板以夹层的方式一个在另一个之上地分层堆放并且所述 毛细槽形成从所述第一板的所述入口开口到最后的板的所述排放口开口的连续 的通道。

8.一种气相色谱仪，其包含至少一个根据权利要求1至6当中任一项所述 的压降设备。

9.一种质谱仪，其包含至少一个根据权利要求1至6当中任一项所述的压 降设备。

10.一种减压阀，其包含至少一个根据权利要求1至6当中任一项所述的压 降设备。