[发明专利]太阳电池的制备方法

权利要求书

1.一种太阳电池的制备方法，其特征在于：所述太阳电池包括有上电 极、外延片和下电极，所述上电极和下电极分别紧密贴合设置在所述外延片 的上、下端面上，其制备方法包括如下步骤：

S1：光刻上电极

在所述外延片的入光面涂光刻胶，涂完胶后将电池烘烤，后采用光刻机 对外延片涂胶面进行曝光、显影、冲洗和干燥；

S2：蒸镀上电极

将所述外延片光刻面朝向蒸发源装入镀膜机中，进行真空蒸镀，然后将 蒸镀好上电极的外延片进行去胶；

S3：蒸镀下电极

将蒸镀完上电极的外延片放入镀膜机内，背面朝向蒸发源，进行真空蒸 镀，之后在刚才的蒸镀面进行加厚蒸镀步骤，得到：加厚金属Ag2，厚度为： 3.0μm-5μm。

2.根据权利要求1所述的太阳电池的制备方法，其特征在于：在步骤S3 之后还包括：

步骤S4：划片、蒸镀减反射膜

将蒸镀完下电极的外延片放入自动划片机中，上电极面朝上，将外延片 划成各规格的电池，然后腐蚀CAP层，在电池入光面蒸镀TiO_x/Al₂O₃膜系。

3.根据权利要求1或2所述的太阳电池的制备方法，其特征在于：所述 S1步骤中，烘烤的过程为：在烘箱中烘烤，烘烤温度范围为80℃～90℃，烘 烤时间为10min±3min；

曝光时间为8s～10s；

显影60s～90s，待显影完全后用清洗机冲洗6～8次，最后甩干机甩干或 氮气吹干。

4.根据权利要求1或2所述的太阳电池的制备方法，其特征在于：在所 述S2步骤中，将蒸镀好上电极的外延片进行去胶具体过程为：将外延片放 入丙酮中浸泡不少于20min，取出后采用自动去胶机去胶，采用自动清洗机 冲洗6～8次，再用甩干机甩干，完成去掉光刻胶的过程；在所述S2步骤中， 进行真空蒸镀依次得到：Au，50nm±7.5nm；Ge，100nm±15nm；Ag，5μ m±750nm；Au，50nm±7.5nm。

5.根据权利要求1或2所述的太阳电池的制备方法，其特征在于：

所述S3步骤中，进行真空蒸镀依次得到：Au，50nm±7.5nm；Ge，100nm ±15nm；Ag1，1μm±0.15μm；所述加厚金属的厚度为3.4μm-4.6μm。

6.根据权利要求1或2所述的太阳电池的制备方法，其特征在于：所述 S3步骤中，所述加厚蒸镀步骤具体为：包括有掩模版，将所述外延片连同掩 模版一同放入镀膜机中，掩模版面朝向蒸发源；所述掩模版为类圆形，圆形 区域中设置有通槽，金属Ag2沉积在所述通槽处。

7.根据权利要求1或2所述的太阳电池的制备方法，其特征在于：所述 加厚金属Ag2的位置与焊点位置相重叠，且加厚Ag2区域的面积大于等于焊 点面积。

8.根据权利要求1或2所述的太阳电池的制备方法，其特征在于：

步骤S3后得到下电极整体形状呈一个类圆状，其中类圆状的最上端设 置有一定位直边，以经过类圆状的圆心并且垂直于定位直角边的直线为Y轴， 以经过类圆状的圆心并且垂直Y轴的直线为X轴,以类圆状的圆心为零点； 所述若干块状加厚金属沿X轴或Y轴对称设置。

9.根据权利要求8所述的太阳电池的制备方法，其特征在于：

所述块状加厚金属中穿过X轴方向设置的金属块宽度与远离X轴方向 设置的金属块的宽度的比值为(1.5-3):1。

10.根据权利要求9所述的太阳电池的制备方法，其特征在于：所述块 状加厚金属中穿过X轴方向设置的金属块宽度为12mm，远离X轴方向设置 的金属块的宽度的为4.6mm或6.6mm。