[发明专利]一种非球面方程的测量方法

权利要求书

1.一种非球面方程的测量方法，其特征在于，包括：

1)利用移相干涉仪测量被测非球面的环形面形图，利用测距干涉仪测 量被测非球面距离上一环形面形图测量点的相对位移量；

2)依据所述移相干涉仪测量的环形面形图，计算获得在测量点对应的 “零条纹”半径；

3)依据所述“零条纹”半径、所述测距干涉仪测量的相对位移量以及 非球面方程的导数表达式，采用迭代优化法计算出被测非球面的方程。

2.按照权利要求1所述非球面方程的测量方法，其特征在于，所述依 据所述移相干涉仪测量的环形面形图，计算获得在测量点对应的“零条纹” 半径，包括：

如果环形干涉条纹与图像中心点不连通，在环形面形图上采用数值微 分法计算出满足阈值要求的坐标，而后采用最小二乘法计算获得在测量点 对应的“零条纹”半径；

如果环形干涉条纹与图像中心点连通，采用Zernike的离焦和球差拟合 法，计算获得在测量点对应的“零条纹”半径。

3.按照权利要求2所述非球面方程的测量方法，其特征在于，所述采 用Zernike的离焦和球差拟合法，计算获得在测量点对应的“零条纹”半径 公式为：

ρi=3a2-a16a2]]>

其中，a₁表示离焦系数，a₂表示球差系数，且所述a₁和a₂可通过对环形 面形图进行Zernike拟合获得。