[发明专利]一种集成深低温制冷装置的大功率光电探测器组件

权利要求书

1.一种集成深低温制冷装置的大功率光电探测器组件，它包括外壳(1)、管帽 (2)、光学窗口(3)、管帽固定螺钉(4)、探测器芯片(5)、液冷装置(6)、 隔热密封圈(7)和液冷装置固定螺钉(8)，其特征在于：

光学窗口(3)通过环氧胶粘贴或金属焊料焊接的方式与管帽(2)密封连 接在一起，外壳(1)上放置金属密封圈(104)，然后放置管帽(2)，使面(201) 与金属密封圈(104)接触，外壳(1)与管帽(2)通过将16个M1.6管帽固 定螺钉(4)对应安装穿过管帽(2)上的Ф1.8通孔(202)并与外壳1的上16 个M1.6螺孔(108)螺接旋紧连接在一起，液冷装置(6)的进出液管(610)、 (604)和液冷底板(603)通过真空钎焊工艺密封焊接在一起，液冷室(601)、 低温密封圈(602)、液冷底板(603)通过销钉定位组装在一起；大隔热密封 圈(701)和小隔热密封圈(702)放在液冷底板对应的环形槽内，液冷装置(6) 放在外壳(1)内，通过8个M2.0的液冷装置固定螺钉(8)将液冷装置(6) 与外壳(1)连接在一起。

2.根据权利要求1所述的一种集成深低温制冷装置的大功率光电探测器 组件，其特征在于：所述的外壳(1)选用柯伐合金，在外壳(1)的上部加工 16个与管帽(2)位置对应的M1.6螺孔(108)，在底部有8个与液冷装置(6) 位置对应的Ф2.5的通孔(106)，底部有2个Ф8.0的通孔(107)，用于液冷装 置(6)的进液管(610)和出液管(604)的穿出，底部外侧8个Ф3.5的沉头 孔(105)用于组件的安装固定，与管帽(2)定位安装的面上放置金属密封圈 (104)，壳体(101)与真空插座(102)通过激光焊接工艺密封并固定。

3.根据权利要求1所述的一种集成深低温制冷装置的大功率光电探测器 组件，其特征在于：所述的液冷装置(6)由液冷室(601)、低温密封圈(602)、 液冷底板(603)、出液管(604)、进液管(610)五部分组成，液冷室(601) 和液冷底板(603)采用钼或钨铜合金，液冷底板(603)上有8个Ф2.5的通 孔(607)，其位置与外壳的通孔(106)对应，也与液冷室(601)上的8个 M2.0螺纹通孔(608)对应，液冷底板(603)底部的大环形槽(605)，用于 安装大隔热密封圈(701)，小环形槽(606)用于安装小隔热密封圈(702)。 液冷室(601)上有676个按1.0mm×1.0mm阵列排布的扰流柱(609)，每个 扰流柱大小为：长0.5mm，宽0.5mm，高3.0mm。

4.根据权利要求1所述的一种集成深低温制冷装置的大功率光电探测器 组件，其特征在于：所述的大隔热密封圈(701)和小隔热密封圈(702)采用 高分子材料玻璃钢或聚四氟乙烯加工。

5.根据权利要求1所述的一种集成深低温制冷装置的大功率光电探测器 组件，其特征在于：所述的管帽(2)选用柯伐合金金属。