[发明专利]倾斜检测装置以及旋转激光装置

权利要求书

1.一种倾斜检测装置，其中，固定部和倾斜转动基板经由枢轴部以能相对旋转的方式 设置，所述固定部和所述倾斜转动基板的任一个与所述枢轴部整体地构成，所述倾斜检测 装置具备：倾斜检测部，设置在所述固定部和所述倾斜转动基板之中的相对于所述枢轴部 进行相对旋转的侧；以及角度检测图案，形成于所述枢轴部，所述倾斜检测部具备：光源，向 所述枢轴部照射照明光；光接收元件，对由所述枢轴部反射的照明光进行光接收；光学系 统，将图案像投影到该光接收元件；以及运算部，基于所述枢轴部进行旋转的情况下的投影 到所述光接收元件的所述图案像的投影位置来检测所述枢轴部的旋转。

2.根据权利要求1所述的倾斜检测装置，其中，所述光学系统具备配设在光轴上的偏光 板、偏振光束分光器、以及1/4波长板，经由所述偏光板、所述偏振光束分光器和所述1/4波 长板向所述枢轴部照射照明光，使所述光接收元件经由所述1/4波长板和所述偏振光束分 光器对由该枢轴部反射的所述图案像进行光接收。

3.根据权利要求2所述的倾斜检测装置，其中，所述偏光板为形成在所述偏振光束分光 器的入射面的偏光膜，所述1/4波长板为形成在所述偏振光束分光器的射出面的1/4波长 膜。

4.一种旋转激光装置，具备：以能倾斜转动的方式设置并且使激光光线在水平方向上 偏向而旋转照射的激光照明器、使该激光照明器倾斜的倾斜部、以及设定所述激光照明器 的目标倾斜角的倾斜设定部，其中，所述倾斜设定部具备：底板，与所述激光照明器的轴心 正交；倾斜转动基板，相对于该底板经由枢轴部以能倾斜转动的方式设置；倾斜检测器，设 置于该倾斜转动基板并且对该倾斜转动基板的水平进行检测；角度检测图案，形成于所述 枢轴部；以及根据权利要求1所述的所述倾斜检测部，设置于所述倾斜转动基板。