[发明专利]一种电子束90度偏转器在审
| 申请号： | 201510840116.0 | 申请日： | 2015-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN105470082A | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 唐文新;余雷;祝林 | 申请（专利权）人： | 重庆大学 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147 |
| 代理公司： | 重庆大学专利中心 50201 | 代理人： | 唐开平 |
| 地址： | 400044 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 90 偏转 | ||
【权利要求书】：
1.一种电子束90度偏转器，包括有金属偏转阳极（1）、金属偏转阴极（4）和偏压电极片（3），金属偏转阳极（1）位于90度圆弧的内层，金属偏转阴极（4）位于90度圆弧的外层，两块偏压电极片（3）通过螺栓和刚玉陶瓷垫片（2）贴压在金属偏转阳极（1）和金属偏转阴极（4）的两侧面，由金属偏转阳极（1）、金属偏转阴极（4）和两块偏压电极片（3）所围成的空腔构成偏转器通道（8），金属偏转阴极（4）上开设有从正面直射光阴极（12）的激光通孔（5），其特征是：金属偏转阴极（4）内壁弧面设有沟槽（9），沟槽内嵌插有超薄玻璃（10）。
2.根据权利要求1所述的电子束90度偏转器，其特征是：所述超薄玻璃（10）的材料选用厚度为50微米的ITO导电玻璃。
3.根据权利要求1或2所述的电子束90度偏转器，其特征是：金属偏转阴极（4）内壁弧面的沟槽（9）下端设有台阶（11）。
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