[发明专利]荧光X射线分析装置和荧光X射线分析方法

权利要求书

1.一种荧光X射线分析装置，其特征在于，具备：

样品台，具有能够设置样品的载置面；X射线源，配置在对所述样品照射一次X射线的照射位置的正上方，对所述样品照射一次X射线；检测器，对从被照射所述一次X射线后的所述样品产生的荧光X射线进行检测；X台，能够在作为与所述载置面平行的一个方向的X方向上移动所述样品台；Y台，能够在与所述载置面平行且与X方向正交的Y方向上移动所述样品台；θ台，在所述载置面的中心具有旋转中心且能够绕与所述载置面正交的旋转轴转动所述样品台；以及遮蔽容器，至少收纳有所述样品台、所述X射线源、所述检测器、所述X台、所述Y台和所述θ台，

所述一次X射线的照射位置被设定为从所述X台和所述Y台的可动中心偏离，

所述一次X射线能够照射的照射区域被设定为以通过在不使所述θ台可动的状态下使所述X台和所述Y台可动时的所述可动中心的X方向的假想分割线和Y方向的假想分割线为界而将所述样品的表面分为4个的分割区域之中的配置有所述照射位置的一个区域，

所述θ台能够使所述样品台按照每90°转动来切换成为所述照射区域的所述分割区域。

2.根据权利要求1所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

所述样品台为正方形形状，

在将所述样品台的一边的一半的长度设为a并且将所述X台和所述Y台的可动范围长度设为L时，所述可动范围长度L被设定为3a，

所述X台和所述Y台的可动中心与所述旋转中心一致，

所述照射位置被设定在从所述X台和所述Y台的可动中心起沿X方向–（1/6）×L、沿Y方向+（1/6）×L的位置。

3.根据权利要求1或2所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

所述遮蔽容器具有所述样品的搬入搬出口，

所述搬入搬出口被设置在所述遮蔽容器的最接近所述照射位置的侧面。

4.根据权利要求1至3的任一项所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，具备：

拍摄部，对成为所述照射区域的所述分割区域进行拍摄；

显示器部，对通过所述拍摄部拍摄的图像进行显示；以及

图像处理部，将在利用所述θ台的所述切换时通过所述拍摄部拍摄的4个所述分割区域的各图像排列在所述显示器部中来显示为所述样品台的表面整体的合成图像，

所述图像处理部以与成为所述照射区域时的所述θ台的所述旋转相同的旋转量使4个所述分割区域的各图像沿反方向旋转来做成所述合成图像。

5.根据权利要求1至4的任一项所述的荧光X射线分析装置，其特征在于，

收纳有所述样品台的所述遮蔽容器的X方向和Y方向的内表面的一边的长度最小为所述样品台的一边的长度的1.5倍。

6.一种荧光X射线分析方法，所述荧光X射线分析方法是利用荧光X射线分析装置的荧光X射线分析方法，所述荧光X射线分析方法的特征在于，

所述荧光X射线分析装置具备：样品台，具有能够设置样品的载置面；X射线源，配置在对所述样品照射一次X射线的照射位置的正上方，对所述样品照射一次X射线；检测器，对从被照射所述一次X射线的所述样品产生的荧光X射线进行检测；X台，能够在作为与所述载置面平行的一个方向的X方向上移动所述样品台；Y台，能够在与所述载置面平行且与X方向正交的Y方向上移动所述样品台；θ台，在所述载置面的中心具有旋转中心且能够绕与所述载置面正交的旋转轴转动所述样品台；以及遮蔽容器，至少收纳有所述样品台、所述X射线源、所述检测器、所述X台、所述Y台和所述θ台，

所述荧光X射线分析方法具有：

在所述样品台设置所述样品的过程；

将所述一次X射线的照射位置设定为从所述X台和所述Y台的可动中心偏离的过程；

将所述一次X射线能够照射的照射区域设定为以通过在不使所述θ台可动的状态下使所述X台和所述Y台可动时的所述可动中心的X方向的假想分割线和Y方向的假想分割线为界而将所述样品台的表面分为4个的分割区域之中的配置有所述照射位置的一个区域的过程；以及

利用所述θ台使所述样品台按照每90°转动来切换成为所述照射区域的所述分割区域而进行测定的过程。