[发明专利]线栅偏振器、包括其的显示装置及其制造方法

说明书

本发明涉及一种线栅偏振器及其制造方法。线栅偏振器包括基板和在基板上的多个导电线图案，该多个导电线图案配置为彼此平行地形成。其中每个导电线图案包括第一导电线图案、绝缘层和第二导电线图案，第一导电线图案和第二导电线图案彼此电绝缘并具有不同的形状。

技术领域

本发明涉及线栅偏振器、包括其的显示装置及其制造方法。

背景技术

其中导体线彼此平行布置以偏振来自电磁波的光的平行导线阵列通常被称为“线栅偏振器”。

响应于入射的非偏振光，具有比入射光的波长小的周期的线栅偏振器反射平行于其线的方向的偏振光，并且垂直于其线的方向的偏振光通过其透射。线栅偏振器比吸收性偏振器更有利，因为它允许被反射的偏振光被重复使用。

线栅偏振器通常由导电材料形成。然而，如果导电材料被自然地氧化，则氧化物层形成在导电材料的表面上。氧化物层通常具有高的折射率，线栅偏振器的折射率越高，它的透射率和对于可见光的消光比越低。

发明内容

示范实施方式提供具有优秀的光学性质的线栅偏振器、具有线栅偏振器的显示装置以及制造线栅偏振器的方法。

然而，本公开的示范实施方式不局限于这里陈述的那些。通过参照以下给出的详细说明，发明构思的以上及其他示范实施方式对于本公开所属领域的普通技术人员来说将变得更明显。

根据示范实施方式，提供一种线栅偏振器，包括基板以及形成在基板上的多个导电线图案，多个导电线图案形成为彼此平行，其中每个导电线图案包括第一导电线图案、绝缘层和第二导电线图案，其中第一导电线图案和第二导电线图案彼此电绝缘并具有不同的形状。

根据另一方面，提供一种线栅偏振器，包括基板和形成在基板上的多个导电线图案，其中每个导电线图案包括多个层和设置在多个层之间的至少一个绝缘层，导电线图案中的至少一些具有与其余的导电线图案不同的形状。

根据发明构思的另一示范实施方式，提供一种制造线栅偏振器的方法，该方法包括：执行在基板上形成第一导电线图案层、绝缘层、第二导电线图案层、硬掩模层和掩模层的第一工艺；执行图案化掩模层以在掩模层上形成多个高度的第二工艺；执行从掩模层在第二工艺期间被完全去除的区域去除硬掩模层和去除保留在别处的掩模层的一部分的第三工艺；执行从硬掩模层在第三工艺期间被去除的区域去除第二导电线图案层的第四工艺；执行从第二导电线图案层在第四工艺期间被去除的区域去除绝缘层和从在第三工艺期间保留的掩模层的一部分被去除的区域去除硬掩模层的第五工艺；和执行从绝缘层在第五工艺期间被去除的区域去除第一导电线图案层和从硬掩模层在第五工艺期间被去除的区域去除第二导电线图案层的第六工艺。

根据示范实施方式，可以提供具有优秀的光学性质的线栅偏振器。

从以下详细说明、附图和权利要求，其他特征和示范实施方式将是明显的。

附图说明

图1是根据发明构思的示范实施方式的线栅偏振器的透视图。

图2是沿图1的线A-A'截取的截面图。

图3是沿图1的线B-B'截取的截面图。

图4是根据发明构思的另一示范实施方式的线栅偏振器的透视图。

图5是沿图4的线A-A'截取的截面图。

图6是根据发明构思的另一示范实施方式的线栅偏振器的截面图。

图7是根据发明构思的示范实施方式的显示装置的下面板的示意图。

图8是沿图7的线C-C'截取的截面图。