[发明专利]一种生产高纯四氯化锗的蒸馏装置在审
申请号: | 201510832115.1 | 申请日: | 2015-11-25 |
公开(公告)号: | CN106730964A | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 陈建国 | 申请(专利权)人: | 衡阳恒荣高纯半导体材料有限公司 |
主分类号: | B01D3/02 | 分类号: | B01D3/02;C01G17/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 421001 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 生产 高纯 氯化 蒸馏 装置 | ||
1.一种生产高纯四氯化锗的蒸馏装置,其特征在于,包括蒸馏罐和冷凝罐,所述蒸馏罐一侧设置有进料口和第一进气口,所述蒸馏罐另一侧设置有第二进气口,所述蒸馏罐的顶端设置有出气口,所述蒸馏罐内轴心处竖直设置有螺旋轴,所述螺旋轴上设置有多个红外加热块,所述多个红外加热块沿竖直方向呈螺旋状均匀排列在所述螺旋轴的外壁,所述蒸馏罐的底部设置有红外加热套,所述红外加热套内设有温度检测器,所述蒸馏罐的底部设置有废液口,所述蒸馏罐的顶部通过第一出气管和所述冷凝罐连接,所述冷凝罐内设置有螺旋冷凝管,所述冷凝罐上设置有第二出气管和第三出气管,所述第二出气管和所述第二进气口连接。
2.根据权利要求1所述的一种生产高纯四氯化锗的蒸馏装置,其特征在于:所述红外加热块为露出三个面的三角锥。
3.根据权利要求1所述的一种生产高纯四氯化锗的蒸馏装置,其特征在于:所述螺旋轴和所述蒸馏罐顶部固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种生产高纯四氯化锗的蒸馏装置,其特征在于:所述蒸馏罐正下方设置有上端具有开口的废液盒,所述废液盒内设置有抽屉式废液室。
5.根据权利要求4所述的一种生产高纯四氯化锗的蒸馏装置,其特征在于:所述第一出气管上设置有第一电磁控制阀,所述第二出气管上设置有第二电磁控制阀,所述废液盒侧壁设置有控制所述第一电磁控制阀和所述第二电磁控制阀的控制器。
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