[发明专利]一种高世代平板减薄用混酸预清洗液有效

专利信息
申请号: 201510832000.2 申请日: 2015-11-25
公开(公告)号: CN105331465B 公开(公告)日: 2018-11-23
发明(设计)人: 邵勇;殷福华;栾成;赵文虎;李英;朱龙;顾玲燕 申请(专利权)人: 江阴江化微电子材料股份有限公司
主分类号: C11D7/60 分类号: C11D7/60;C11D7/08;C11D7/10;C11D7/26;C11D10/02
代理公司: 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 代理人: 杜兴
地址: 214400 江苏省无*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 世代 平板 减薄用混酸预 清洗
【说明书】:

发明公开了一种高世代平板减薄用混酸预清洗液,其组分按重量百分比计包括:50~80%重量的硫酸、5~18%重量的磷酸、0.01~2%重量的盐酸和/或可溶性氯盐、1~7%重量的硝酸和余量水;可溶性氯盐为选自氯化钠、氯化钾、氯化铵中的至少一种。本发明的高世代平板减薄用混酸预清洗液采用硫酸、磷酸、盐酸和/或可溶性氯盐、硝酸和水混合而成,由于硫酸对一些无机和有机化合物都有一定的溶解能力,能有效去除玻璃基板表面的灰尘、指纹等,并且通过调整硫酸、磷酸、硝酸、盐酸和/或可溶性氯盐的浓度,可以控制硫酸对固化胶的溶解速度。

技术领域

本发明涉及玻璃减薄前的预清洗用清洗液组合物,具体涉及一种高世代平板减薄用混酸预清洗液。

背景技术

为了使平板电脑液晶屏的厚度适应薄型化的市场需求,需要对玻璃基板极性减薄处理。减薄的工艺过程一般包括封胶、减薄和研磨三步骤。具体的,由于液晶玻璃屏采用双面粘接而成,减薄用混酸的主体为氢氟酸,氢氟酸会经由液晶玻璃屏的缝隙进入液晶屏内,导致减薄的废品率上升。因此,需要在蚀刻之前采用光固化封边胶将液晶玻璃四边封止住;减薄工序包括预清洗单元、蚀刻单元、清洗单元及干燥单元等。其中的预清洗单元是将封胶过的玻璃基板在一定温度下浸入清洗液,以去除玻璃基板表面的指纹、灰尘、玻璃粉、油脂和其他有机物及固体微粒等。

现有技术中的玻璃基板减薄用清洗液组合物主要是有强碱、表面活性剂、极性有机溶剂和水等组成,其清洗处理工艺为:将封胶后的玻璃基板浸入清洗液中,在 45~90℃下浸泡清洗玻璃基板。上述组成的清洗液对固化胶的清洗能力不足。CN 104531397 A公开了一种平板玻璃基板减薄预清洗用清洗液及其应用,其组分包含氢氧化钾、醇胺、砜和/或亚砜、醇类化合物、表面活性剂和水。通过加入砜和/或亚砜,赋予了组合物对光固化胶一定的清洗能力,但又不至于清洗封边的光固化胶。但是实际使用中发现,上述清洗液会不可避免的对封边光固化胶造成微损伤,CN 103045391 公开了一种玻璃基板水基清洗液,包括无机碱性物质(氢氧化钾或氢氧化钠)、表面活性剂、消泡剂和水。但是,碱性清洗液对灰尘的溶解能力有限,清洗液处理后金属离子残留较多,需要大量的水冲洗。CN 104277944 A中公开了一种醇为主体的TFT 液晶玻璃基板清洗液,其组分包括无水乙醇、正丁醇、正戊醇、OP-10和去离子水,其有益效果在于的去污能力效果显著,并且不影响玻璃的透光性和反光性、使用安全。但是醇类溶剂对无机物的溶解能力比碱性溶液还差,因此其不能用于玻璃基本的前处理清洗。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术中存在的缺陷,提供一种对玻璃基板表面的指纹、无机颗粒和灰尘清洗能力强的高世代平板减薄用混酸预清洗液。

为实现上述技术效果,本发明的技术方案为:一种高世代平板减薄用混酸预清洗液,其特征在于,其组分按重量百分比计包括:50~80%重量的硫酸、5~18%重量的磷酸、0.01~2%重量的盐酸和/或可溶性氯盐、1~7%重量的硝酸和余量水;所述可溶性氯盐为选自氯化钠、氯化钾、氯化铵中的至少一种。

玻璃基板表面指纹的成分包含汗水、油脂、胆固醇、氨基酸、蛋白质,玻璃粉的主要成分是无机氧化物,生产环境中灰尘的组分包括有机物和/或无机物。硫酸对一些无机和有机化合物都有一定的溶解能力,另外氯离子和磷酸根离子可以络合硫酸溶解无机氧化物产生的金属离子。封胶材料一般为酸酐基类树脂(AE)和硅胶树脂(SR),上述两种树脂耐强酸性较差,尤其是对高浓度硫酸的抗耐性最差,通过调整硫酸的浓度,可以控制硫酸对固化胶的溶解速度,避免其对封边光固化胶造成微损伤。

为了优化与清洗液的清洗效果,优选的技术方案为,其组分按重量百分比计包括:72~76%重量的硫酸、9~13%重量的磷酸、0.05~0.5%重量的盐酸和可溶性氯盐、1~5%重量的硝酸和余量水。可溶性氯盐世界产生阴离子和阳离子,随着清洗作业的持续进行,氢离子被消耗生成水,阳离子的存在使清洗液的酸体系更稳定。

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