[发明专利]照射强度控制设备与方法、以及光学检验系统

权利要求书

1.一种照射强度控制设备，其特征在于，包括：

固态照射源，用于照射供检验的物体，以检验所述物体；以及

电路，用以：

执行初始校准过程，所述初始校准过程包含：测量从所述被检验物体反射的光的光学强度，并依据所述所测量光学强度而选择用于施加到所述固态照射源的固定电压供应电平；以及

针对所述固态照射源设置参数，所述参数包含经选择的所述固定电压供应电平和电压脉冲的序列的持续时间，其中所述参数被用于一个或多个连续光学检验场次直到出现所述固态照射源的功率输出漂移为止，从而使所述固态照射源产生固定强度照射脉冲的序列以用于在所述一个或多个连续光学检验场次中检验所述物体。

2.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述电路包括电容器，且用以在所述电压脉冲中的每一个之前将所述电容器充电到所述所选固定电压供应电平，并通过经由所述固态照射源使所述经充电电容器放电而产生所述电压脉冲中的每一个。

3.如权利要求l或2所述的设备，其特征在于，所述电路在所述照射脉冲的所述序列期间不重新校准所述固定电压供应电平。

4.如权利要求l或2所述的设备，其特征在于，所述固态照射源是其中所述电压供应电平与所发射光学强度之间的关系在个别照射源之中变化的类型的照射源，且其中所述电路用以通过执行所述初始校准过程来补偿所述关系的变化。

5.如权利要求l或2所述的设备，其特征在于，所述固态照射源包括发光二极管及开关，且所述电路包括驱动器电路，所述驱动器电路用以对所述开关施加所述电压脉冲的所述序列以便使所述发光二极管产生所述照射脉冲。

6.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述电路包括用以获取所述被检验物体的图像的成像检测器及用以通过处理所述图像来测量所述光学强度的处理器。

7.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述电路包括用以直接测量所述固态照射源的所述强度的成像检测器及用以通过处理所述图像来测量所述光学强度的处理器。

8.如权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述电路用以对流过所述固态照射源的电流进行数字化，并依据所述经数字化电流而选择所述固定电压供应电平。

9.如权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述固态照射源包括一个或多个发光二极管。

10.如权利要求l或2所述的设备，其特征在于，所述固态照射源包括一个或多个激光二极管。

11.如权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述电路用以选择多个电压供应电平及多个相应类型的所述电压脉冲的持续时间。

12.如权利要求1或2所述的设备，其特征在于，所述电路用以选择使所述照射脉冲提供预定义照射强度的最短持续时间。

13.一种照射强度控制方法，其特征在于，包括：

运行使用于检验物体的固态照射源；

执行初始校准过程，所述初始校准过程包含：测量从所述被检验物体反射的光的光学强度，并依据所述所测量光学强度而选择用于施加到所述固态照射源的固定电压供应电平；以及

针对所述固态照射源设置参数，所述参数包含经选择的所述固定电压供应电平和电压脉冲的序列的持续时间，其中所述参数被用于一个或多个连续光学检验场次直到出现所述固态照射源的功率输出漂移为止，从而使所述固态照射源产生固定强度照射脉冲的序列以用于在所述一个或多个连续光学检验场次中检验所述物体。

14.如权利要求13所述的方法，其特征在于，施加所述电压脉冲的所述序列的步骤包括在所述电压脉冲中的每一个之前将电容器充电到所述所选固定电压供应电平，并通过经由所述固态照射源使所述经充电电容器放电而产生所述电压脉冲中的每一个。