[发明专利]一种大幅面高速高精度自动光学检测设备

权利要求书

1.一种大幅面高速高精度自动光学检测设备，其特征在于，包括：

支撑平台(2)；

固定在支撑平台(2)底部的减震支架(1)；

设置在支撑平台(2)上表面且相互平行的两个平移导轨副(3)；

放置在平移导轨副(3)上的工件台(5)；

固定在支撑平台(2)上表面且位于工件台(5)正下方的透射照明光源(4)；

固定在支撑平台(2)后端且与工件台(5)相连的精密驱动装置(6)，所 述精密驱动装置(6)通过电机驱动工件台(5)，使工件台(5)随着平移导轨 副(3)的滑动在支撑平台(2)上单方向往复运动和定位；

控制系统，用于显示设备当前状态，用于驱动精密驱动装置(6)运行，用 于控制拼接探测器焦面组件(14)的探测器帧频，用于人机交互设置、显示设 备程序运行状态及检测结果输出，用于实现成像图像的拼接和处理，用于将拼 接图像与标准文件进行对比、实现工件误差检测；

与控制系统相连的光栅尺(7)，所述光栅尺(7)的读数头和光栅分别安装 在工件台(5)和支撑平台(2)上，用于测量工件台(5)移动的速度和位置并 将速度和位置信号反馈给控制系统，通过控制系统控制精密驱动装置(6)运行 使工件台(5)运动，所述工件台(5)移动的速度与拼接探测器焦面组件(14) 的探测器帧频匹配；

固定在支撑平台(2)上表面边缘且位于两个平移导轨副(3)外侧的镜头 支架(9)；

固定在镜头支架(9)内侧的反射照明光源(10)；

固定在镜头支架(9)上表面的反射镜(11)和精密调焦平台(12)；

固定在精密调焦平台(12)上表面且水平设置的大视场高精度镜头(13) 和拼接探测器焦面组件(14)，所述大视场高精度镜头(13)前后端分别对准反 射镜(11)和拼接探测器焦面组件(14)，所述反射镜(11)与大视场高精度镜 头(13)的光轴(29)成45°夹角，所述反射镜(11)用于转折成像检测光路， 通过调整精密调焦平台(12)使工件台(5)上的工件与拼接探测器焦面组件(14) 的探测器感光面完全共轭，且拼接探测器焦面组件(14)与工件台(5)通过大 视场高精度镜头(13)完全共轭。

2.根据权利要求1所述的一种大幅面高速高精度自动光学检测设备，其特 征在于，所述控制系统包括：

计算机(17)，用于连接并控制所有电联组件，是整个设备中枢；

与计算机(17)电连接的设备状态灯(15)，用于显示设备当前状态；

与计算机(17)电连接的显示器(18)，用于人机交互设置、显示设备程序 运行状态及检测结果输出；

分别与计算机(17)、精密驱动装置(6)、光栅尺(7)和拼接探测器焦面 组件(14)电连接的控制器(16)，用于驱动精密驱动装置(6)运行，用于控 制拼接探测器焦面组件(14)的探测器帧频；

安装在计算机(17)中的图像采集卡和控制软件，用于实现成像图像的拼 接和处理，用于将拼接图像与标准文件进行对比、实现工件误差检测。

3.根据权利要求1所述的一种大幅面高速高精度自动光学检测设备，其特 征在于，还包括安装在支撑平台(2)和工件台(5)之间的工件指示器(8)， 所述工件指示器(8)位于透射照明光源(4)前端；当工件台(5)上有工件并 移动工件指示器(8)时，所述工件指示器(8)给出一个控制信号，开始成像 检测。