[发明专利]一种用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统及方法

说明书

本发明涉及超高真空下样品多工序加工及检测技术领域，具体的说是一种用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统。包括样品车行走通道、磁耦合传输系统、传输小车组件、支架、真空抽气系统及控制系统，其中样品车行走通道安装在所述支架上，真空抽气系统与样品车行走通道连接，用于样品车行走通道抽真空，样品车行走通道内设有在轨道上行驶的传输小车组件，样品车行走通道的外部设有磁耦合传输系统，磁耦合传输系统与控制系统点连接、并通过控制系统的控制来实现与传输小车组件磁耦合及带动传输小车组件前行。本发明采用了磁力耦合传输技术，该技术考虑了特殊的极高真空工况环境及空间受限等因素的影响，实现了样品的稳定可靠传输。

技术领域

本发明涉及超高真空下样品多工序加工及检测技术领域，具体的说是一种用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统。

背景技术

“真空”是指在指定空间内低于环境大气压力的气体状态，也就是该空间内气体分子数密度低于该地区大气压的气体分子数密度。不同的真空状态，就意味着该空间具有不同的分子数密度。这样带来的好处是在这样的空间内进行类似镀膜、热处理、清洗及精细检测等工艺或检测过程时将排除空气中气体的影响甚至于可以依照实验者的意愿仅加入自己需要的气体的参与反应过程。

但国内以往的真空类实验设备大多只能进行一个过程，具体来说就是当需要进行其它真空类实验过程时，必须将样品从真空状态下取出后重新放入另一个真空室内重新抽气并进行试验。但在这个过程中样品已经与空气接触其造成的影响无法估计，严重者甚至会造成样品污染。而且抽真空的过程极其浪费时间，多次反复抽气严重影响工作效率。

目前，国内并没有生产厂家研制出全自动真空互联类设备，国外研制真空互联系统的公司较多，如德国的SPECS公司、CREATEC公司等。这些公司均可以根据客户要求制作相应的真空互联系统。大部分的此类系统交接过程为手动进行，与该产品相比，本专利涉及的真空互联设备极限真空高于SPECE的产品，而且交接为全自动运行。

发明内容

针对以上现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种用于超高真空下的全自动样品多工序生产系统，包括样品车行走通道、磁耦合传输系统、传输小车组件、支架、真空抽气系统及控制系统，其中样品车行走通道安装在所述支架上，所述真空抽气系统与所述样品车行走通道连接，用于所述样品车行走通道抽真空，所述样品车行走通道内设有在轨道上行驶的传输小车组件，所述样品车行走通道的外部设有磁耦合传输系统，所述磁耦合传输系统与控制系统点连接、并通过所述控制系统的控制来实现与所述传输小车组件磁耦合及带动所述传输小车组件前行。

所述样品车行走通道包括通过气动闸板阀依次连接的进样室、过渡室、传输室及交接室，所述进样室、过渡室及传输室的外侧均设有磁耦合传输系统。

所述磁耦合传输系统包括齿形带、驱动气缸、调节支杆、定位光耦、支撑横梁、伺服电机、限位块、导轨及永磁磁钢，其中支撑横梁通过调节支杆安装在所述支架上、并与所述样品车行走通道平行，所述支撑横梁上设有导轨、定位光耦及齿形带传动装置，所述限位块与所述齿形带传动装置中的齿形带固定连接，所述限位块通过滑块与所述导轨滑动连接；所述驱动气缸安装在所述限位块上、并输出轴与所述永磁磁钢连接。

所述导轨的两端设有限位开关。所述驱动气缸沿竖直方向输出动力。

所述传输小车组件包括小车底板、车轮组件、样品托座及内磁钢组件，其中小车底板的底部设有车轮组件，所述小车底板的上方设有样品托座，所述小车底板的两端均设有内磁钢组件。

所述内磁钢组件通过磁铁支杆安装在所述小车底板的两端，所述小车底板的侧面设有齿条。

一种用于超高真空下的全自动样品多工序生产方法，其特征在于，