[发明专利]适于8英寸硅外延工艺系统的三氯氢硅供应装置有效
| 申请号： | 201510822734.2 | 申请日： | 2015-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN105439067B | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 邱孟逊;甘伯年;金龙 | 申请（专利权）人： | 南京国盛电子有限公司 |
| 主分类号： | B67D7/02 | 分类号： | B67D7/02;B67D7/78 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211111 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 三氯氢硅液罐 硅外延工艺 三氯氢硅 阀门 供应装置 液罐 阀门串联 工艺气体 供液方式 供应物料 管路串联 人工成本 生产效率 输入管路 外延工艺 自动切换 产能 气路 三通 生产 | ||
1.一种适于8英寸硅外延工艺系统的三氯氢硅供应装置，其特征在于：包括为外延工艺供应物料的左三氯氢硅液罐(1)和右三氯氢硅液罐(2)；
所述左三氯氢硅液罐(1)通过其上的第一阀门(V1)串联第二阀门(V2)与一条工艺气体输入管路—第一管路(①)相连接，该第一管路(①)通过第一三通(3)接插入右三氯氢硅液罐(2)内的第二管路(②)，该第二管路(②)串联第三阀门(V3)与右三氯氢硅液罐(2)上的第四阀门(V4)相连接；
同时，所述左三氯氢硅液罐(1)通过其上的第五阀门(V5)与一条液态三氯氢硅输出管路—第三管路(③)相连接，该第三管路(③)串联有第六阀门(V6)，并通过第二三通(4)与第七阀门(V7)相连接，该第七阀门(V7)的另一端连接在第一管路(①)的第一阀门(V1)和第二阀门(V2)之间；
所述第三管路(③)通过第二三通(5)接插入右三氯氢硅液罐(2)内的第四管路(④)，该第四管路(④)串联第八阀门(V8)，并通过第三三通(6)连接第九阀门(V9)和右三氯氢硅液罐(2)上的第十阀门(V10)，所述第九阀门(V9)的另一端连接在第二管路(②)的第三阀门(V3)和第四阀门(V4)之间；所述左三氯氢硅液罐(1)和右三氯氢硅液罐(2)的重量分别为995～1005kg；所述三氯氢硅供应装置具有一侧供液、一侧吹扫的工作模式、一侧供液，一侧待用的工作模式和一侧供液，一侧下线的工作模式。
2.根据权利要求1所述的适于8英寸硅外延工艺系统的三氯氢硅供应装置，其特征在于：所述第一阀门(V1)、第四阀门(V4)、第五阀门(V5)和第十阀门(V10)均为手动阀门。
3.根据权利要求1所述的适于8英寸硅外延工艺系统的三氯氢硅供应装置，其特征在于：所述第二阀门(V2)、第三阀门(V3)、第六阀门(V6)、第七阀门(V7)、第八阀门(V8)和第九阀门(V9)均为编程控制器控制的气动控制阀门。
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