[发明专利]二氧化碳激光器电极板的表面处理方法及激光器

说明书

技术领域

本发明涉及激光器领域，尤其涉及一种二氧化碳激光器电极板的表面处理方法及其二氧化碳激光器。

背景技术

二氧化碳激光器是以二氧化碳气体作为工作物质的气体激光器，商用的二氧化碳激光器，功率范围在数瓦到数千瓦，在激光加工中得到了广泛的应用。随着激光加工应用的普及，用户对于激光器提出了更高，更多样的要求。针对激光加工的需求，通过改变激光器的某个部件达到特殊激光加工的需求，已经越来越普遍。

但现有二氧化碳激光器，特别是高功率的二氧化碳激光器使用放电面为镜面反射的极板，在波导方向上比较难获得基模激光输出，故，有必要设计一种新的二氧化碳激光器。

发明内容

本发明的目的在于提供一种相对于采用镜面反射的极板、激光功率下降比较少且可以获得波导方向的基模输出的二氧化碳激光器电极板的表面处理方法及其二氧化碳激光器。

本发明提供一种二氧化碳激光器电极板的表面处理方法，二氧化碳激光器电极板的放电表面进行喷砂处理。

其中，二氧化碳激光器电极板的放电表面进行干喷砂处理。

其中，二氧化碳激光器电极板的非放电表面进行防护处理。

其中，通过喷砂处理，电极板的放电表面的粗糙度Ra为8-12μm。

其中，包括如下步骤：

第一步：选择喷砂机；

第二步：选择石英砂粒，砂号为400号，即砂粒的尺寸为1/400英寸；

第三步：对二氧化碳激光器的正极板的放电表面和负极板的放电表面均进行均匀喷砂；

第四步：结束喷砂。

其中，所述石英砂砾的尺寸为1/300英寸至1/500英寸。

本发明还提供二氧化碳激光器，其包括：金属壳体、密封在金属壳体内的相对的两电极板，该两电极板均由金属板条构成，其中一电极板为正极板，另一电极板为负极板，正极板的板条放电表面和负极板的板条放电表面互相平行，正极板连接一射频电源，负极板接地，放电发生在正极板的板条放电表面和负极板的板条放电表面之间。

其中，还包括位于金属壳体内的全反射镜和输出镜，全反射镜位于该两电极板的一端，输出镜位于该两电极板的另一端并位于激光输出端。

其中，正极板的板条放电表面和负极板的板条放电表面之间间距范围一般为1.5mm至4mm，正极板的板条和负极板的板条之间的间隔形成一个激光传输的通道。

其中，正极板和负极板均为长方体，激光沿两极板的长度方向上传输。

通过本发明方法处理电极板的放电表面，波导方向的激光为基模输出，激光输出功率受此影响不大，相比于镜面反射的极板，激光功率下降约10％。

附图说明

图1所示为射频激励板条激光器示意图；

图2所示为射频板条激光器的内部示意图；

图3所示为电极板示意图。

具体实施方式

本发明揭示一种二氧化碳激光器及其极板放电表面处理方法，本发明二氧化碳激光器是一种封离型射频激励扩散冷却板条波导CO2激光器，其功率范围在数瓦到数千瓦，并且具有结构紧凑，体积小，工作频率易于调制，免维护等众多优点，在激光加工中得到了广泛的应用。

图1所示为二氧化碳激光器的内部示意图，二氧化碳激光器包括：金属壳体10、密封在金属壳体10内的相对的两电极板20、30、全反射镜40、以及输出镜50，全反射镜40位于该两电极板的一端，输出镜50位于该两电极板的另一端并位于激光输出端，两电极板20、30由两片平行放置的金属板条构成，其中一电极板20为正极板20，另一电极板为负极板30，激光器产生的激光100从激光器输出窗口11输出。

如图2所示，在本实施例中，正极板20和负极板30均为长方体，其长度为几百毫米，宽度为几十毫米，高度为十几毫米，两极板在激光器内相对平行安装，正极板20的板条放电表面和负极板30的板条放电表面之间的间距为1.5mm至4mm，正极板20的板条和负极板30的板条之间的间隔形成一个激光100传输的通道。激光在两极板的宽度方向上传输，为自由传输，在两电极板的间隔方向上为波导传输。