[发明专利]一种使用吸盘相机标定曝光机光路位置关系的方法

权利要求书

1.一种使用吸盘相机标定曝光机光路位置关系的方法，其特征在于，所述曝光机包括四个成像光头DMD₁、DMD₂、DMD₃、DMD₄，所述曝光机下方设有载物平台，该载物平台上设置有用于记录平台坐标的左吸盘相机和右吸盘相机，所述方法包括如下步骤：

1)制作一张标记图片，该标记图片上设置有两个标记点mark₀和mark₁，所述mark₀和mark₁位于同一条水平线上，mark₀与mark₁的中心间距为d；

2)使用四个成像光头DMD₁、DMD₂、DMD₃、DMD₄分别静态投射步骤1)的标记图片；

3)移动载物平台，将左吸盘相机移动到DMD₁成像光头下，启动图像处理算法，将mark₀移动到左吸盘相机中心，记录当前的平台坐标(x₀，y₀)；

4)移动载物平台，将左吸盘相机移动到DMD₂成像光头下，启动图像处理算法，将mark₀移动到左吸盘相机中心，记录当前的平台坐标(x₁，y₁)；

5)移动载物平台，将左吸盘相机移动到DMD₃成像光头下，启动图像处理算法，将mark₁移动到左吸盘相机中心，记录当前的平台坐标(x₂，y₂)；

6)移动载物平台，将右吸盘相机移动到DMD₃成像光头下，启动图像处理算法，将mark₀移动到右吸盘相机中心，记录当前的平台坐标(x₃，y₃)；

7)移动载物平台，将右吸盘相机移动到DMD₄成像光头下，启动图像处理算法，将mark₀移动到右吸盘相机中心，记录当前的平台坐标(x₄，y₄)；

8)计算四个成像光头DMD₁、DMD₂、DMD₃、DMD₄之间的位置关系：

所述DMD₁与DMD₂的位置关系为：

△x_DMD1-2＝x₁-x₀

△y_DMD1-2＝y₁-y₀

所述DMD₂与DMD₃的位置关系为：

△x_DMD2-3＝x₂-x₁+dcosθ*M*PW

△y_DMD2-3＝y₂-y₁+dsinθ*M*PW

其中θ为DMD₃的倾斜角，M为光路成像的倍率，PW为网格精度；

所述DMD₃与DMD₄的位置关系为：

△x_DMD3-4＝x₄-x₃

△y_DMD3-4＝y₄-y₃。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述中心间距d小于等于DMD的像素大小的一半。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述标记图片为BMP图片，所述标记点mark₀位于标记图片的像素中心。