[发明专利]一种打拿极薄膜结构及基于打拿极薄膜结构的电子倍增器在审

专利信息
申请号: 201510808628.9 申请日: 2015-11-19
公开(公告)号: CN105349968A 公开(公告)日: 2016-02-24
发明(设计)人: 吴胜利;魏强;魏孔庭;张劲涛;胡文波 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: C23C16/511 分类号: C23C16/511;C23C16/27;H01J9/02
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 徐文权
地址: 710049 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 打拿极 薄膜 结构 基于 电子倍增器
【权利要求书】:

1.一种打拿极薄膜结构,其特征在于,所述打拿极薄膜结构为采用MPCVD方法在弧形打拿极片(100)生长的一层金刚石薄膜(110)。

2.一种电子倍增器,其特征在于,包括基架盒体(130)、栅电极(150)及弧形打拿极片(100);

所述基架盒体(130)为四分之一圆柱体结构,其中,基架盒体(130)包括底板、第一侧板及第二侧板,第一侧板及第二侧板分别与底板的两侧面相连接,弧形打拿极片(100)固定于底板的上部,且弧形打拿极片(100)的上表面及底板的上表面均为内凹的弧面,弧形打拿极片(100)的上表面上采用MPCVD方法生长有一层金刚石薄膜(110),弧形打拿极片(100)位于第一侧板、第二侧板及底板之间,入射电子经栅电极(150)加速后入射到金刚石薄膜(110)上。

3.根据权利要求2所述的电子倍增器,其特征在于,所述弧形打拿极片(100)的上下两端分别设有用于夹持底板的上下两端的固定夹具(140)。

4.根据权利要求2所述的电子倍增器,其特征在于,所述固定夹具(140)为L型结构或矩形结构。

5.根据权利要求2所述的电子倍增器,其特征在于,基架盒体(130通过钢材或者铜材制作而成。

6.根据权利要求2所述的电子倍增器,其特征在于,弧形打拿极片(100)由钼、钨或碳钨合金的材料制成。

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