[发明专利]金属蚀刻设备内部磁场线圈保护装置

权利要求书

1.一种金属蚀刻设备内部磁场线圈保护装置，其包括金属蚀刻腔体，金属蚀刻腔体内部设置有用于气体传输的特气管道，以及用于产生磁场的磁场线圈；其特征在于，所述特气管道外部设置有管道防护装置，管道防护装置设置于磁场线圈于特气管道端面之上的投影位置。

2.按照权利要求1所述的金属蚀刻设备内部磁场线圈保护装置，其特征在于，所述管道防护装置由第一管道防护层与第二管道防护层构成，其中，第一管道防护层设置于第二管道防护层与特气管道之间；所述第一管道防护层与第二管道防护层均采用“U”形结构，且其底端面均设置于特气管道与磁场线圈的相对端面之上。

3.按照权利要求2所述的金属蚀刻设备内部磁场线圈保护装置，其特征在于，所述第一管道防护层的厚度大于第二管道防护层的厚度。

4.按照权利要求3所述的金属蚀刻设备内部磁场线圈保护装置，其特征在于，所述第一管道防护层与第二管道防护层之上分别设置有固定端板，其均在水平方向上延伸，固定端板与金属蚀刻腔体的内壁之间通过螺栓进行连接。