[发明专利]一种基于弹光调制的高速光学层析扫描装置及方法在审
| 申请号： | 201510796552.2 | 申请日： | 2015-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN105445188A | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 景宁;陈友华;王志斌;张瑞;李克武 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01N21/00 | 分类号： | G01N21/00 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 申绍中 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 调制 高速 光学 层析 扫描 装置 方法 | ||
1.一种基于弹光调制的高速光学层析扫描装置，其特征在于：包括低相干光源（1）、分光器（2）、弹光调制器（3）和探测器（5），所述低相干光源（1）和分光器（2）及待测样品（4）位于同一光路上，所述弹光调制器（3）、分光器（2）和探测器（5）位于同一光路上，上述两个光路相互正交。
2.根据权利要求1所述的一种基于弹光调制的高速光学层析扫描装置，其特征在于：所述弹光调制器（3）的调制速度可达到50kHz。
3.根据权利要求1所述的一种基于弹光调制的高速光学层析扫描装置，其特征在于：所述弹光调制器（3）包括硒化锌晶体（7）和压电石英（8），所述压电石英（8）驱动硒化锌晶体（7）振动产生弹光效应达到对红外光的调制作用。
4.根据权利要求3所述的一种基于弹光调制的高速光学层析扫描装置，其特征在于：所述硒化锌晶体（7）一侧的通光面上镀有金膜（9）。
5.一种基于弹光调制的高速光学层析扫描方法，其特征在于：低相干光源（1）发出的红外探测光经分光器（2）分成两束，一束探测光入射到弹光调制器（3），经弹光调制器（3）调制后反射，为调制光；另一束探测光入射到待测样品（4），探测光在待测样品（4）传输过程中会不断向后反射，为探测光；调制光与探测光共同入射到探测器（5）上，当调制光与探测光的光程差相等时，待测样品（4）相应深度的反射强度将会被探测器（5）得到；通过调制弹光调制器（3），可以得出待测样品（4）各个深度上的反射率，完成高速层析扫描。
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