[发明专利]汽化系统

权利要求书

1.一种汽化系统，其特征在于包括：

使液体材料汽化的汽化器；

控制向所述汽化器的液体材料供给量的供给量控制设备；以及

歧管块，所述歧管块呈长条状，在所述歧管块的长边方向一端侧设置有导入口且在长边方向的另一端侧设置有导出口，所述歧管块的内部形成有内部流道，所述歧管块的一面呈具有长边方向的矩形，并且将所述一面作为安装所述汽化器和所述供给量控制设备的设备安装面，

所述汽化器和所述供给量控制设备沿着长边方向配置，

通过在所述设备安装面上安装所述供给量控制设备和所述汽化器，从设置了所述导入口的上游侧按照所述供给量控制设备和所述汽化器的顺序由所述内部流道串联连接。

2.根据权利要求1所述的汽化系统，其特征在于，

还具备把供给所述汽化器的液体材料预热到规定的温度的预热器，

所述预热器通过安装到所述设备安装面上，借助所述内部流道与所述汽化器和所述供给量控制设备连接。

3.根据权利要求1所述的汽化系统，其特征在于，还包括：

流体检测设备，检测有关由所述汽化器生成的汽化气体的流量的物理量；以及

流量控制阀，控制由所述汽化器生成的汽化气体的流量，

所述流体检测设备和所述流量控制阀通过安装在所述设备安装面上，借助所述内部流道与所述汽化器连接。

4.根据权利要求3所述的汽化系统，其特征在于，所述歧管块通过连接第一主体单元和第二主体单元构成，所述第一主体单元安装有所述汽化器和所述供给量控制设备，所述第二主体单元安装有所述流体检测设备和所述流量控制阀。

5.根据权利要求4所述的汽化系统，其特征在于，

所述第一主体单元上设有加热所述第一主体单元的第一加热器，

所述第二主体单元上设有加热所述第二主体单元的第二加热器。

6.根据权利要求1所述的汽化系统，其特征在于，

所述汽化器的内部设有用于检测所述液体材料的液位的液面传感器，

通过对应所述液面传感器检测的液体材料的液位，间歇打开所述供给量控制设备、向所述汽化器供给所述液体材料，进行连续汽化。