[发明专利]高精度平面度在线测量装置及测量方法在审
申请号: | 201510764896.5 | 申请日: | 2015-11-11 |
公开(公告)号: | CN105444724A | 公开(公告)日: | 2016-03-30 |
发明(设计)人: | 张辉;王东方;李全松;崔庆龙;杨怀江;隋永新 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B21/30 | 分类号: | G01B21/30 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 王莹 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高精度 平面 在线 测量 装置 测量方法 | ||
1.高精度平面度在线测量装置,包括主要由导磁块(2)、C向旋转工作台(3)、Z向运动轴(7)、X向运动轴(8)、床身(9)、床座(10)、刀具夹持系统和控制系统组成的数控立式车床;
其特征在于,还包括,
刀杆接柄(6)、适配器(5)、长度计(4)、数显装置和PC机;
所述刀杆接柄(6)夹持固定在刀具夹持系统上;
所述适配器(5)固定在刀杆接柄(6)上,长度计(4)固定在适配器(5)上且沿Z向设置,适配器(5)能够相对于刀杆接柄(6)运动,调节长度计(4)的位置,使长度计(4)的探针在工件(1)的被测面上的Z向投影恰好落在数控立式车床的X轴上;
所述数显装置与长度计(4)连接,显示长度计(4)的测量值;
所述PC机与数显装置、控制系统分别连接,PC机采集并存储数显装置的数据,且通过控制系统实时控制数控立式车床。
2.根据权利要求2所述的高精度平面度在线测量装置,其特征在于,所述刀杆接柄(6)的顶端设有凸台(6-1),凸台(6-1)夹持固定在刀具夹持系统上,刀杆接柄(6)的侧面设有凹槽,凹槽一端开口。
3.根据权利要求2所述的高精度平面度在线测量装置,其特征在于,所述适配器(5)由底座(5-1)和固定在底座(5-1)上的凸台(5-2)组成,凸台(5-2)置于刀杆接柄(6)的凹槽内,能够相对凹槽移动,并通过紧固螺钉夹持固定。
4.根据权利要求3所述的高精度平面度在线测量装置,其特征在于,长度计(4)通过自带螺钉固定在适配器(5)的底座(5-1)上。
5.采用权利要求1-4任何一项所述的高精度平面度在线测量装置测量平面度的方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤一、将数控立式车床的C轴定位到0度,移动X向运动轴(8)和Z向运动轴(7),使长度计(4)的探针头到工件(1)的被测面的Z向位移在长度计(4)的量程内;
步骤二、通过长度计(4)的控制开关使长度计(4)的探针头与工件(1)的被测面接触,获得一个采集点,将PC机上的数据采集软件归零,以该采集点作为工件(1)的被测面的第一个直径上的第一个数据点x11=(1,0),通过长度计(4)的控制开关抬起探针头,转动C向旋转工作台(3),采集该第一个直径上的其它数据点x1i=(1,z),i表示工件(1)的被测面的同一直径上的第i个采集点,i为整数且1≦i≦n,n为工件(1)的被测面的同一直径上所需采集的数据点的个数,z为长度计(4)的测量值;
步骤三、采集完第一个直径上的所有数据点后,通过移动X向运动轴(8),采集工件(1)的被测面上其它直径上的数据点xki=(k,z),k表示工件(1)的被测面上的第k个直径,k为正整数且k≥2;
步骤四、读取PC机上采集的所有数据点,采用最小二乘法求取平面度。
6.根据权利要求5所述的高精度平面度在线测量方法,其特征在于,所述步骤一中,长度计(4)的探针头到工件(1)的被测面的Z向位移在2-5mm的范围内。
7.根据权利要求5所述的高精度平面度在线测量方法,其特征在于,所述步骤二中,C向旋转工作台(3)转动的角度为360°/n。
8.根据权利要求5所述的高精度平面度在线测量方法,其特征在于,所述步骤二中,n≧12。
9.根据权利要求5所述的高精度平面度在线测量方法,其特征在于,所述步骤四中,读取软件为matlab软件。
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