[发明专利]基板位置偏移检测及校正装置和基板搬运系统

权利要求书

1.一种基板位置偏移检测及校正装置，其特征在于，还包括：

设置于搬运系统的末端执行器上的第一非接触式传感器和第二非接触式传感器，当末端执行器按照预设的第一移动指令向待搬运基板移动且未与待搬运基板接触时，所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器用于实时采集待搬运基板的第一边缘的信息，其中：第一非接触式传感器和第二非接触式传感器与机器人本体之间的距离相等，所述第一非接触式传感器和所述第二非接触式传感器之间具有设定距离；

控制器，用于当第一非接触式传感器和第二非接触式传感器均检测到待搬运基板的第一边缘的信息时，控制所述末端执行器停止运动，并判断所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器是否同时采集到第一边缘的信息，若所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器非同时采集到第一边缘的信息时，根据所述第一非接触式传感器和所述第二非接触式传感器分别检测到所述第一边缘后反馈的信号的时间差、以及预设的末端执行器的移动速度、所述第一非接触式传感器和所述第二非接触式传感器之间的设定距离，得到所述待搬运基板的第一边缘与所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器的连线之间的夹角值，并根据所述夹角值控制所述基板搬运系统的机器人本体绕其轴线旋转。

2.如权利要求1所述的基板位置偏移检测及校正装置，其特征在于，还包括：报警装置，

所述控制器用于当所述夹角值大于预先设定的角度参考值时，输出告警信号和/或控制所述搬运系统停止工作；

所述报警装置根据所述告警信号产生告警。

3.如权利要求2所述的基板位置偏移检测及校正装置，其特征在于，所述控制器还用于：

根据所述夹角值控制所述基板搬运系统的机器人本体绕其轴线旋转后，控制所述末端执行器继续向待搬运基板移动，当第一非接触式传感器和第二非接触式传感器同时检测到待搬运基板的第一边缘的信息时，控制所述末端执行器再次停止运动，并拾取所述待搬运基板，且控制所述机器人本体带动其上的待搬运基板绕其轴线旋转至初始角度。

4.如权利要求3所述的基板位置偏移检测及校正装置，其特征在于，所述控制器还用于：

当第一距离大于第二距离时，根据所述第一距离和所述第二距离的差值调整预设的第二移动指令，并根据调整后的第二移动指令控制所述末端执行器带动其上的待搬运基板向所述机器人本体移动；

当第一距离小于第二距离时，根据所述第一距离和所述第二距离的差值调整预设的第二移动指令，并根据调整后的第二移动指令控制所述末端执行器带动其上的待搬运基板向所述机器人本体移动，或根据所述第一距离和第二距离的差值控制所述末端执行器移动至预设停止位置，并根据预设的第二移动指令控制所述末端执行器带动其上的待搬运基板向所述机器人本体移动，其中：所述第一距离为所述机器人本体带动其上的待搬运基板绕其轴线旋转至初始角度后、所述末端执行器的实际停止位置与所述机器人本体之间的距离，所述第二距离为所述末端执行器的预设停止位置与所述机器人本体之间的距离，所述预设停止位置为末端执行器按照所述预设的第一移动指令移动后的停止位置。

5.如权利要求1所述的基板位置偏移检测及校正装置，其特征在于，所述控制器还用于：

若所述第一非接触式传感器和第二非接触式传感器为同时采集到第一边缘的信息时，拾取所述待搬运基板。

6.如权利要求5所述的基板位置偏移检测及校正装置，其特征在于，所述控制器还用于：

当第三距离大于第二距离时，根据所述第三距离和所述第二距离的差值调整预设的第二移动指令，并根据调整后的第二移动指令控制所述末端执行器带动其上的待搬运基板向所述机器人本体移动；

当第三距离小于第二距离时，根据所述第三距离和所述第二距离的差值调整预设的第二移动指令，并根据调整后的第二移动指令控制所述末端执行器带动其上的待搬运基板向所述机器人本体移动，或根据所述第三距离和第二距离的差值控制所述末端执行器移动至预设停止位置，并根据预设的第二移动指令控制所述末端执行器带动其上的待搬运基板向所述机器人本体移动，其中：所述第三距离为所述第一非接触传感器和所述第二非接触传感器同时采集到第一边缘的信息时、末端执行器的实际停止位置与所述机器人本体之间的距离，所述第二距离为所述末端执行器的预设停止位置与所述机器人本体之间的距离，所述预设停止位置为末端执行器按照所述预设的第一移动指令移动后的停止位置。