[发明专利]一种基于MEMS线加速度计的角加速度测量装置在审
| 申请号： | 201510736376.3 | 申请日： | 2015-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN105259370A | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 齐蓉;张云飞;林辉;李兵强;杨渭滨 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 顾潮琪 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 加速度计 角加速度 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于MEMS线加速度计的角加速度测量装置，包括两块MEMS线加速度芯片和传感器圆盘，其特征在于：所述的传感器圆盘的圆心与转轴固连；两块MEMS线加速度芯片分别安装在传感器圆盘的边沿和圆心上，两块MEMS线加速度芯片的线加速度感应方向相互平行，并与传感器圆盘的半径方向垂直；当传感器圆盘随着转轴旋转时，将两块MEMS线加速度芯片输出的线加速度信号做差，就得到传感器圆盘的圆周旋转线加速度，再除以传感器圆盘的半径，就得到最终的旋转角加速度。
2.根据权利要求1所述的基于MEMS线加速度计的角加速度测量装置，其特征在于：还包括信号调理电路和V/I转换电路，信号调理电路和V/I转换电路都安装在传感器圆盘上，两块MEMS线加速度芯片的输出电压信号分别接入各自的信号调理电路，对输出电压信号进行滤波并将输出电压幅值调整到V/I转换电路可接受的范围，经过调理后的输出电压信号经V/I转换电路转化为电流信号输出。
3.根据权利要求1所述的基于MEMS线加速度计的角加速度测量装置，其特征在于：所述的传感器圆盘上安装PCB电路板，所述的MEMS线加速度芯片、信号调理电路和V/I转换电路都集成在PCB电路板上。
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