[发明专利]一种用于安全芯片的防篡改布线结构在审
| 申请号: | 201510731416.5 | 申请日: | 2015-11-03 |
| 公开(公告)号: | CN105390479A | 公开(公告)日: | 2016-03-09 |
| 发明(设计)人: | 陈杰;王良清 | 申请(专利权)人: | 深圳国微技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/58 | 分类号: | H01L23/58;H01L23/528;H01L23/552 |
| 代理公司: | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人: | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市南山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 安全 芯片 篡改 布线 结构 | ||
1.一种用于安全芯片的防篡改布线结构,其特征在于包括:至少一个防篡改基本单元,该防篡改基本单元由自顶向下层叠设置的四层金属结构构成,第一层金属结构和第三层金属结构内设有供电网络线,第二层金属结构和第四层金属结构内设有防篡改屏蔽线。
2.如权利要求1所述的防篡改布线结构,其特征在于,第一层金属结构的供电网络线和第三层金属结构的供电网络线在同一平面上的投影相互垂直交叉,所述第四层金属结构的防篡改屏蔽线位于第一金属层和第三金属层的供电网络线交叉位置的下方。
3.如权利要求2所述的防篡改布线结构,其特征在于,所述第三层金属结构还设有防篡改屏蔽线,第三层上的防篡改屏蔽线垂直于第三层上的供电网络线。
4.如权利要求3所述的防篡改布线结构,其特征在于,所述第二层金属结构上的防篡改屏蔽线和第三层金属结构上的防篡改屏蔽线在同一平面上的投影相互交叉。
5.如权利要求4所述的防篡改布线结构,其特征在于,所述第二层金属结构上的防篡改屏蔽线与第三层金属结构上的一部分防篡改屏蔽线垂直交叉,所述第二层金属结构上的防篡改屏蔽线与第三层金属结构上的其余部分防篡改屏蔽线以45°倾斜交叉。
6.如权利要求1至5任一项所述的防篡改布线结构,其特征在于,多个所述的防篡改基本单元以最小金属间距进行平铺组合。
7.如权利要求6所述的防篡改布线结构,其特征在于,相邻的防篡改基本单元之间可插入缓冲器。
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