[发明专利]一种涂胶装置及其出胶喷嘴的清洗方法

说明书

技术领域

本发明涉及光刻胶涂布技术领域，尤其涉及一种涂胶装置及其出胶喷嘴的清洗方法。

背景技术

现有技术中，涂布机(Coater)在每次涂布光刻胶之前，都会由橡皮擦(Rubber)进行一次清理，将出胶喷嘴(Nozzle)处的光刻胶清理掉，以保证下一次涂布的质量。

但是，由于涂布机的出胶喷嘴具有延伸的长度，在靠近出胶喷嘴的底端处，橡皮擦无法触及，会造成如下问题：位于出胶喷嘴的底端处残留的光刻胶不能被及时清理，长时间积累会形成凝结的光刻胶块，凝结的光刻胶块在较长时间后容易干裂并脱落，如果掉落在正在涂布的基板表面时，会影响涂布质量。

发明内容

本发明的目的是提供一种涂胶装置及其出胶喷嘴的清洗方法，以解决现有技术的涂布装置的出胶喷嘴的底端处无法清理干净，在凝结后所形成的光刻胶块掉落在正在涂布的基板表面时，会影响涂布质量的问题。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

本发明实施例提供一种涂胶装置，包括胶桶、与所述胶桶连接的出胶喷嘴、以及设置于所述出胶喷嘴下方的废胶槽；所述涂胶装置还包括清洗槽和清洗部件；

所述清洗槽设置于所述废胶槽的一侧；

所述清洗部件设置于所述清洗槽内，所述清洗部件用于在所述出胶喷嘴移动到所述清洗槽上方时，向所述出胶喷嘴喷射清洗液和清洁气体以清洗所述出胶喷嘴。

本实施例中，通过在所述废胶槽的一侧设置所述清洗槽，且在所述清洗槽内设置所述清洗部件，从而利用所述清洗部件对移动至所述清洗槽上方的所述出胶喷嘴进行清洗，以确保所述出胶喷嘴清洁，避免所述出胶喷嘴的底端形成凝结的光刻胶块及凝结的光刻胶块落在正在涂布的基板表面影响涂布质量的现象；同时，清洗过程产生的液体直接进入所述清洗槽，不会对所述废胶槽内的光刻胶造成污染。

优选的，所述清洗部件包括具有两个叉指的叉形支架，两个所述叉指的端部均设置有出液孔和出气孔，所述出液孔用于喷射稀释液，所述出气孔用于喷射清洁气体。本实施例中，所述清洗部件的叉形支架的两个叉指具有出液孔，可以对所述出胶喷嘴的两侧进行清洗，具有更好的清洗效果。

优选的，所述清洗槽内还设置有导轨，所述导轨和所述清洗槽的延伸方向相同，所述叉形支架通过连接部件与所述导轨连接；

所述叉形支架能够借助于所述连接部件由水平放置状态旋转至垂直放置状态，以及借助于所述连接部件在所述导轨上往复运动。

本实施例中，所述叉形支架能够在所述导轨上往复运动，因此可以反复对所述出胶喷嘴的两侧进行清洗。

优选的，所述叉形支架的两个所述叉指之间的距离大于所述出胶喷嘴的横截面的最大宽度。

优选的，所述出胶喷嘴位于所述叉形支架上方且所述叉形支架为垂直放置状态时，所述叉形支架的两个所述叉指分别距所述出胶喷嘴的两侧边的距离为3～7毫米。

优选的，所述连接部件为走行传动轴。

优选的，所述清洗槽的延伸方向与所述废胶槽的延伸方向平行。

本发明实施例有益效果如下：通过在所述废胶槽的一侧设置所述清洗槽，且在所述清洗槽内设置所述清洗部件，从而利用所述清洗部件对移动至所述清洗槽上方的所述出胶喷嘴进行清洗，以确保所述出胶喷嘴清洁，避免所述出胶喷嘴的底端形成凝结的光刻胶块及凝结的光刻胶块落在正在涂布的基板表面影响涂布质量的现象；同时，清洗过程产生的液体直接进入所述清洗槽，不会对所述废胶槽内的光刻胶造成污染。

本发明实施例提供一种如上实施例提供的所述涂胶装置的出胶喷嘴清洗方法，包括：

使所述出胶喷嘴运动至所述清洗槽的上方；

控制所述清洗部件向所述出胶喷嘴喷射清洗液和清洁气体以清洗所述出胶喷嘴。

优选的，控制所述清洗部件向所述出胶喷嘴喷射清洗液和清洁气体以清洗所述出胶喷嘴，包括：

通过控制所述清洗部件的连接部件，带动所述清洗部件的叉形支架由水平放置状态旋转至垂直放置状态并在所述清洗部件的导轨上往复运动，由所述叉形支架的叉指上的所述出液孔先向所述出胶喷嘴喷射稀释液，再由所述叉形支架的叉指上的所述出气孔向所述出胶喷嘴喷射清洁气体。

优选的，所述出液孔向所述出胶喷嘴喷射稀释液时，所述叉形支架在所述导轨上的走行速度为100～200毫米/秒。

优选的，所述出气孔向所述出胶喷嘴喷射清洁气体时，所述叉形支架在所述导轨上的走行速度为50～100毫米/秒。